Occasion LAM RESEARCH 4528i #9167075 à vendre en France

LAM RESEARCH 4528i
Fabricant
LAM RESEARCH
Modèle
4528i
ID: 9167075
Etcher.
LAM RESEARCH 4528i est un graveur/asher conçu pour graver et déposer avec précision des films minces sur des surfaces de plaquettes. Son procédé de dépôt de film de précision combiné à une gravure fiable basée sur la convection assure des résultats de traitement fiables. L'équipement offre un chargement, un déchargement et une manutention des échantillons simples et efficaces, ce qui le rend idéal pour une large gamme d'applications à haut débit. Le LAM 4528i obtient d'excellents débits et une qualité de produit avec un faible coût de possession. Il utilise la technologie de chargement/déchargement de mandrin électrostatique, une chambre de dépôt de film sous vide et un asher à plasma intégré. Le système est équipé d'une unité de localisation automatique des plaquettes, d'une machine intégrée de contrôle de l'environnement des plaquettes et d'un matériel de pulvérisation intégré. La capacité de contrôler avec précision les concentrations d'oxygène et d'azote gazeux en mesurant la pression est incorporée à travers des alimentations en gaz dédiées et des régulateurs de débit massique. LAM RESEARCH 4528i est conçu pour être utilisé avec un large éventail de matériaux, y compris des diélectriques, des polymères et divers métaux. L'outil a une source réglable, la température et des vitesses de rotation, ce qui permet une gamme accrue de capacités. L'actif est également équipé de ports supplémentaires pour permettre le pompage de gaz réactifs et de sources de matériaux supplémentaires dans la chambre de traitement. 4528i est un graveur/asher de plaquettes innovant, offrant un haut degré de polyvalence et de précision pour répondre aux besoins des laboratoires de production et de recherche à haut débit. Le modèle est également simple à utiliser et à maintenir, assurant des résultats de traitement fiables et cohérents. L'engagement de LAM RESEARCH 4528i envers la technologie de pointe et la facilité d'exploitation en fait une option attrayante pour un large éventail d'applications de dépôt et de gravure en couches minces.
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