Occasion LAM RESEARCH 4600 #293764324 à vendre en France

LAM RESEARCH 4600 est un graveur/asher avancé pour diverses applications de semi-conducteurs. La conception de base de 4600 comprend deux chambres ashing indépendantes, chacune capable de fournir une large gamme de profondeurs de gravure, de températures et de chimies. Cela lui permet de réaliser des processus de gravure complexes tout en fournissant une excellente uniformité. LAM RESEARCH 4600 dispose d'un équipement de pompage dédié pour améliorer la performance des outils et réduire la contamination. Le système de pompage flexible permet un nettoyage spécifique des gaz, un contrôle de pression et une détection dynamique du débit de gaz. Plusieurs chambres permettent de maintenir la stabilité du procédé et de réduire le potentiel de contamination des particules. 4600 a plusieurs caractéristiques innovantes qui sont idéales pour les applications de gravure et de cendrage. Sa « technologie de gravure sèche » unique est préférée pour la gravure de tranchées peu profondes et de petites vias, ce qui la rend idéale pour une variété d'exigences d'application. L'unité utilise également un procédé « Dry Ashing » en trois étapes qui est conçu pour atteindre des taux de gravure élevés et des résidus faibles en combinant l'oxydation sèche et la gravure sèche en une étape. Cela permet l'élimination de l'organique, de la petite taille des caractéristiques, des couches conformes et des diélectriques métalliques avec une grande précision et facilité. LAM RESEARCH 4600 est conçu avec des outils robustes de contrôle des processus, y compris des modèles prédictifs et la reconnaissance des caractéristiques, pour assurer des rendements de qualité. Ceci offre une grande précision et répétabilité, assurant la reproductibilité du processus tout en éliminant le besoin d'intervention manuelle. En plus de ses fonctions de contrôle de processus, 4600 dispose également d'une fonction de rotation à grande vitesse pour réduire les temps de gravure. Cela permet d'accélérer le processus de gravure et de minimiser la formation de défauts en raison d'aspérités inégales. La machine dispose également de plusieurs options d'interface conviviales, ce qui en fait une excellente option pour les utilisateurs débutants et avancés de graveur/asher. LAM RESEARCH 4600 est un graveur/asher avancé conçu pour fournir une large gamme de profondeurs de gravure, de températures et de chimies pour répondre aux besoins des applications modernes de semi-conducteurs. L'outil est conçu avec des outils de contrôle de processus robustes, des capacités de rotation à grande vitesse et des interfaces conviviales, ce qui en fait un excellent choix pour les utilisateurs novices et expérimentés.