Occasion LAM RESEARCH 4600 #293807556 à vendre en France

LAM RESEARCH 4600 est un équipement de pointe conçu pour la gravure, le cendrage et le marquage de couches conductrices et non conductrices sur un large éventail de substrats. Il est équipé d'une capacité de gravure isotrope prête à la production, permettant une homogénéité de processus et de wafer qui répond ou dépasse les normes de l'industrie. Le système 4600 dispose d'une source de plasma à couplage inductif (PIC) de 13,56 MHz pour les applications de gravure et d'ashing. Il dispose d'une faible puissance de générateur RF, permettant un contrôle de gravure précis dans les couches de processus critiques telles que les jonctions peu profondes. La taille de la chambre permet de grandes cassettes jusqu'à 25 « x 50 ». Il offre également un générateur double fréquence capable de graver à la fois l'alumine et les masques durs diélectriques, fournissant un niveau supplémentaire d'optimisation dans les recettes de gravure multi-matériaux. LAM RESEARCH 4600 dispose également de capacités manuelles et automatiques, permettant aux clients de sélectionner les opérations les plus productives pour leurs besoins de production. Il dispose d'un bras robotique intégré pour la configuration de la recette et le chargement/déchargement des plaquettes. L'unité utilise également une machine d'optimisation automatique de recette (ARO) en temps réel pour effectuer des optimisations de paramètres bidirectionnelles et effectuer des ajustements in situ pendant le traitement. 4600 offre des temps de processus rapides avec des recettes précises, fournissant à la fois un débit élevé et des résultats optimaux. Cela permet aux clients de réaliser des économies de coûts et des augmentations de débit avec une intervention minimale de l'opérateur. L'outil est également équipé de capacités avancées de suivi des processus et de diagnostic, permettant aux clients de dépanner et d'optimiser leurs processus. Cet atout de pointe offre une flexibilité et un contrôle inégalés des processus, permettant aux clients de produire des produits fiables et performants avec une durée de vie plus longue. LAM RESEARCH 4600 est le choix idéal pour les applications nécessitant une gravure de précision et des rendements élevés avec un temps d'arrêt minimal.