Occasion LAM RESEARCH 4600B #9100790 à vendre en France

LAM RESEARCH 4600B Etcher Asher est utilisé pour des applications critiques dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Ce cendrier etcher est conçu pour fournir des capacités de gravure et de cendrage fiables et uniformes pour aider votre processus à fonctionner à la capacité maximale avec un contrôle de processus optimisé. Il comporte une intégration automatisée des processus pour la livraison des produits consommables ainsi qu'un blindage actif pour éliminer le risque d'exposition à des produits chimiques dangereux. Cet équipement utilise également un système de distribution de gaz multi-zones pour un contrôle précis des gaz de gravure et de cendres au niveau micron. 4600B est une chambre multi-chambre etcher/asher unité. Il offre des capacités de gravure spécifiques pour le diélectrique, le polyimide, les métaux pulvérisés, et plus encore. Il dispose également d'une chambre OneStep pour le revêtement des plaquettes ainsi que pour la gravure des oxydes métalliques. La machine dispose également d'un procédé de gravure en 2 étapes pour assurer une uniformité de processus répétable et un contrôle optimal. La première chambre offre une gravure radicale tandis que la seconde chambre effectue une gravure de finition propre et douce. LAM RESEARCH 4600B dispose également de capacités de surveillance des processus pour s'assurer que le processus de gravure complet demeure dans les limites des spécifications. Cet outil de surveillance du processus comprend un moniteur d'ouverture pour mesurer le taux de gravure, tout en fournissant un aperçu de l'ensemble du processus. De plus, cet actif dispose également d'un indicateur de pression pour aider à surveiller la pression du processus et d'un moniteur de débit de gaz pour surveiller le débit de gaz d'attaque/de cendres. 4600B offre également une multitude de constructions robustes pour s'assurer que le modèle fonctionne sans problème. Il dispose d'un verrouillage de charge à quatre zones ainsi que d'une construction en acier inoxydable résistant pour des performances et une fiabilité supérieures. Il dispose également d'un équipement d'échappement intégré et de multiples mécanismes de sécurité en cas de défaillance pour améliorer la sécurité et la stabilité opérationnelle. En conclusion, LAM RESEARCH 4600B Etcher Asher fournit des capacités de gravure et de cendrage répétables et fiables afin d'aider les fabricants à exécuter leurs processus au maximum de leurs capacités tout en gérant les contrôles des processus. Il est doté d'un design multi-chambres pour le travail du diélectrique et du métal, ainsi que de capacités précises de gravure micrométrique et de livraison de gaz et de systèmes de surveillance des processus. Le système utilise également le verrouillage de charge à quatre zones et la construction en acier inoxydable résistant pour des performances et une fiabilité supérieures.