Occasion LAM RESEARCH 4720 #293640844 à vendre en France

LAM RESEARCH 4720 est un équipement de graveur/asher de haute performance destiné à l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Il est livré avec une plaque de substrat de 8 pouces, une plaque d'outillage pour le chargement multiple de substrat, cinq plaques sources, et deux générateurs RF pour la gravure à grande vitesse des plaquettes. Le système dispose d'une architecture ouverte intuitive et peut gérer jusqu'à seize substrats par transfert. L'unité offre également un contrôle de position précis et une capacité de livraison multi-gaz. 4720 peut être utilisé pour la gravure plasma, la gravure cryogénique et le cendrage de divers matériaux de substrat, dont le silicium, le titane, l'aluminium, l'or et le cuivre. Le générateur RF accordable de précision offre des paramètres plasma précisément contrôlés pour des recettes de gravure répétables avec des résultats de haute qualité. Son procédé de gravure rapide, efficace et non contaminant élimine tout matériau indésirable de la surface du substrat, permettant des caractéristiques précises du dispositif. D'autres caractéristiques comprennent des plaques perforées de haute précision pour permettre une uniformité supérieure et des systèmes de distribution de gaz à haut débit pour assurer des taux de dissipation faibles. En outre, la machine supporte également la gravure à haut rapport d'aspect et la capacité de gravure à travers des couches épaisses. LAM RESEARCH 4720 permet le préconditionnement, le pré-nettoyage et le nettoyage post-dépôt de la chambre de gravure. Il est conçu avec un grand réservoir de bullage et un chauffage de recirculation pour s'assurer que la température du bain et de la chambre reste stable et constante pendant les opérations de gravure. Il est également livré avec une interface de vide de ligne de vide, qui aide à réduire la contamination et rend l'outil plus fiable. L'atout de vision de chambre intégrée offre une vision améliorée du processus, permettant l'alignement des plaquettes, la surveillance du processus et le diagnostic. 4720 offre une précision, une fiabilité et une répétabilité supérieures pour des opérations de gravure et de nettoyage complexes. C'est un modèle idéal pour les exigences exigeantes des procédés avancés de fabrication de dispositifs semi-conducteurs d'aujourd'hui.