Occasion LAM RESEARCH 4720 #9272634 à vendre en France
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LAM RESEARCH 4720 etcher/asher est un équipement de gravure humide entièrement automatisé conçu pour offrir une qualité de procédé inégalée et un débit élevé. Cet équipement est capable d'assurer des fonctions de traitement à sec et humide dans une large gamme de métaux et de diélectriques. Avec une variété de fonctions pré-programmées, 4720 graveur/asher peut traiter une variété de plaquettes qui vont de 8 pouces à 200 mm. Les vitesses de gravure rapides et la flexibilité de l'outil le rendent idéal pour des applications telles que la combinaison de gravure plasma haute densité, dépôt de couches minces, cendre de résines photosensibles et gravure humide. LAM RESEARCH 4720 etcher/asher se compose de trois composantes principales ; le module de délivrance de produits chimiques, l'ensemble de la chambre et le module d'alimentation. Le module de livraison de produits chimiques fournit des solutions de gravure, des solvants photorésistants et d'autres produits chimiques pendant le processus de gravure. L'ensemble de la chambre contient un canon universel conçu pour supporter un large éventail d'applications de gravure et d'options de processus. Le module d'alimentation contient une alimentation haute tension qui fournit la haute tension nécessaire aux processus de gravure. Le système supporte également une variété d'étapes post-gravure. La plate-forme 4720 etcher/asher permet à l'utilisateur de sélectionner une recette de processus optimale et de surveiller le processus en temps réel. L'unité de commande intégrée de l'outil offre à l'utilisateur une large gamme d'options de commande comprenant le contrôle du débit et de la pression du gaz, le contrôle de la température de gravure, le contrôle de la vitesse de gravure et le contrôle du temps total de traitement. De plus, l'utilisateur peut surveiller l'état du processus, visionner des vidéos de processus en direct, ajuster les paramètres du processus ou enregistrer les résultats des données pendant le processus de gravure. LAM RESEARCH 4720 etcher/asher est conçu pour atteindre l'équilibre parfait entre le processus et la performance. Il est conçu pour offrir une répétabilité de processus inégalée, des performances, une facilité d'utilisation et un débit maximal. Il est également conçu pour un fonctionnement facile et sûr et l'accès aux équipements périphériques post-gravure. La machine polyvalente 4720 etcher/asher fournit un processus de gravure supérieur qui convient à de nombreuses applications.
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