Occasion LAM RESEARCH 4720W #9144773 à vendre en France

LAM RESEARCH 4720W
Fabricant
LAM RESEARCH
Modèle
4720W
ID: 9144773
Taille de la plaquette: 6"
Etcher, 6".
LAM RESEARCH 4720W est un équipement de graveur/asher spécialement conçu pour l'élimination de la résine photosensible, du film métallique et d'autres couches superficielles sur des substrats tels que des plaquettes, des masques, des feuilles et du verre. Il utilise une combinaison de technologies mécaniques et chimiques pour fournir des applications de gravure/cueillette de haute performance. 4720W est capable de traiter plusieurs substrats simultanément, avec une vitesse de gravure allant jusqu'à 2 um/min et un débit allant jusqu'à 200 plaquettes de 4 pouces par heure. Son entretien facile et ses caractéristiques de sécurité complètes le rendent idéal pour une variété d'applications de laboratoire et de production. LAM RESEARCH 4720W est composé de plusieurs composantes clés. Sa source de plasma comporte deux sources de plasma de type diode, un oxyde chimique asher (COA) et un graveur à plasma (PE). La source PE fournit un plasma contrôlé et uniforme pour la gravure tandis que la source asher fournit des processus de réaction chimique de courte durée pour l'élimination de la résine photosensible, la gravure de films métalliques, ou d'autres applications ashing. De plus, 4720W est équipé d'un mandrin électrostatique, d'une tête de douche à gaz, d'une pince à mandrin en plaquette et d'un couvercle d'échappement. Le système de contrôle plasma de LAM RESEARCH 4720W offre une gamme de processus et de paramètres différents, permettant des applications de gravure et de cendrage de haute précision. Son logiciel Advanced Process Controller dispose d'une interface utilisateur graphique pour optimiser le développement des recettes et le contrôle des processus. En outre, 4720W est équipé d'une unité de contrôle du gaz et de la pression à trois zones pour un contrôle précis de l'atmosphère de la chambre. LAM RESEARCH 4720W est conçu pour un fonctionnement facile et sûr. Son contrôleur LCD convivial offre un fonctionnement facile et ses fonctions de sécurité complètes, y compris la conformité CE, le rendent idéal pour les environnements de laboratoire et de production. De plus, sa conception compacte et son empreinte réduite le rendent facile à installer et à intégrer aux lignes de production existantes. Dans l'ensemble, 4720W est une machine de graveur/asher puissant, idéal pour une variété d'applications de processus. Son taux de gravure élevé, son débit et sa flexibilité en font un choix fiable pour les environnements de laboratoire et de production. En outre, son entretien facile et ses fonctions de sécurité complètes en font un choix idéal pour un large éventail d'applications.
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