Occasion LAM RESEARCH 4720W #9149817 à vendre en France

LAM RESEARCH 4720W
Fabricant
LAM RESEARCH
Modèle
4720W
ID: 9149817
Taille de la plaquette: 6"
Etcher, 6".
LAM RESEARCH 4720W Asher est un appareil de gravure humide à semi-conducteur de pointe de LAM RESEARCH. Ce système de gravure humide est conçu pour assurer une grande uniformité de procédé et un rendement élevé au début du processus semiconducteur. Avec sa capacité à produire des films minces rapidement et efficacement, 4720W est un outil précieux pour de multiples processus. L'unité intègre une conception de tête de gravure plasma à trois canaux, permettant de graver jusqu'à trois matrices simultanément. Sa technologie avancée de soupape à membrane fournit avec précision deux flux de gaz réactifs pour un contrôle de débit indépendant. Ceci permet aux utilisateurs de définir précisément la dynamique de gravure pour une uniformité maximale sur la surface du substrat. La machine à valve à membrane réduit également la quantité de contamination particulaire dans l'outil de gravure. LAM RESEARCH 4720W dispose d'un bloc de chargement monobloc, ce qui facilite le transfert de plaquettes en ligne de l'étape d'entrée vers la chambre de processus à vide élevé. Au cours du procédé, le mandrin rotatif à lévitation magnétique maintient l'uniformité de température du substrat. Le couple de rotation du mandrin est contrôlé sur une longue période de temps, ce qui supporte en outre la qualité des structures gravées. L'actif a également une capacité de cuisson à basse température, permettant aux utilisateurs d'effectuer des traitements à haute température sans brûler les substrats sous-jacents. 4720W comprend un modèle avancé de gestion des particules qui utilise la triple filtration. Cet équipement de filtration avancé assure que seules des particules propres sont livrées aux structures gravées lors du traitement. Il minimise également la contamination dans la chambre de procédé. De plus, LAM RESEARCH 4720W dispose d'un système de détection en temps réel, qui peut être utilisé pour surveiller le profil de gravure, ainsi que pour surveiller l'avancement et l'uniformité du processus de gravure. Cette capacité de surveillance en temps réel permet aux utilisateurs de détecter rapidement tout changement de processus et de faire des ajustements rapidement. 4720W Asher est un outil fiable et économique pour la gravure de semi-conducteurs. Sa technologie de pointe et son système de triple filtration permettent aux utilisateurs de graver des structures très uniformes en peu de temps. Ainsi, les fabricants de dispositifs semi-conducteurs peuvent bénéficier grandement de l'utilisation de cette unité dans leur procédé de fabrication.
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