Occasion LAM RESEARCH 480LRC #9187407 à vendre en France

Fabricant
LAM RESEARCH
Modèle
480LRC
ID: 9187407
Poly etcher Gases: SF6, C2F6, O2, He, and Ni.
LAM RESEARCH 480LRC est un graveur/asher, conçu pour les semi-conducteurs et autres matériaux. Il combine gravure, cendrage, et d'autres processus pour créer des composants de précision avec une très haute répétabilité et précision. Le LAM 480LRC est un pouvoir source robuste, extrêmement robuste de 8 kW etcher/asher capable de livraison tant gravent à l'eau forte haut des taux qu'une uniformité superbe à travers une gamme de matériel substrate. Il est doté d'une conception de chambre intégrée, d'un contrôle électronique et de rapports, d'un contrôle précis du débit de plasma et d'une capacité de verrouillage de charge avancée pour augmenter le débit. LAM RESEARCH 480LRC est un graveur/asher entièrement automatisé avec une source d'alimentation unique et une gravure monoplan inclinée par substrat. Il fonctionne en utilisant à la fois des principes de pulvérisation ionique et de gravure ionique pour éliminer le matériau de la surface du substrat. La gravure monoplan inclinée assure une gravure uniforme de toutes les surfaces du substrat, créant des pièces homogènes de haute qualité avec une reproductibilité supérieure. Avec le taux de gravure de l'graveur jusqu'à 8 kW, 480LRC peut graver rapidement et avec précision, créant à la fois des motifs complexes et la gravure à des niveaux de précision très élevés. De plus, le LAM LAM RESEARCH 480LRC offre une multitude de fonctionnalités avancées qui le rendent idéal pour la gravure et le cendrage de substrats épais et minces. Il peut également être utilisé pour la gravure de tranchées, le découpage des arêtes et la gravure à haut rapport d'aspect. Le système breveté de contrôle du débit de gaz de 480LRC le rend idéal pour produire à la fois des topologies de surface lisses et des structures à haut rapport d'aspect. Il est également capable de fonctionner dans des modes de gravure à la fois conformes et sélectifs, et convient à une grande variété de matériaux de substrat. LAM RESEARCH 480LRC gravite de façon robuste et fiable dans diverses conditions et divers substrats. Il peut gérer des projets de gravure à long terme et fournir des résultats reproductibles avec une grande précision. Ses systèmes sophistiqués de contrôle et de surveillance le rendent facile à utiliser et à suivre ses paramètres en constante évolution. Avec sa capacité à graver des motifs précis avec une grande précision dans un seul plan gravé, il est idéal pour la formation de composants semi-conducteurs. Avec un système de gestion automatique de la puissance et une capacité de verrouillage de charge intégrée pour augmenter le débit, le LAM 480LRC est une solution de gravure fiable et robuste.
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