Occasion LAM RESEARCH 490 / 480 #9365712 à vendre en France

LAM RESEARCH 490/480 est un graveur/asher d'angle incliné à grande vitesse pour la gravure de couches de passivation et d'autres matériaux sensibles, en particulier le polyimide et le silicium polycristallin. Il utilise un système binaire d'injection de gaz pour assurer un contrôle précis de la chimie et de la température du procédé de gravure ou de cueillette. 490/480 utilise le plasma pour décomposer la structure moléculaire des matériaux à une vitesse, généralement plus rapide que la gravure chimique humide. LAM RESEARCH 490/480 est conçu avec une cassette inclinable qui permet une gravure plus rapide et uniforme. La cassette permet un remontage aisé et une extraction aisée des substrats chargés. L'angle incliné de l'graveur aide à prévenir les précipitations chimiques dues aux turbulences, qui peuvent conduire à la sous-cotation et à la ségrégation chimique. Cette conception permet également d'assurer une gravure uniforme sur l'ensemble des substrats. Ce graveur-asher utilise une unité programmable de commande de gaz capable de commander jusqu'à 22 gaz en combinaison, permettant d'appliquer des recettes de gravure et de dépôt spécifiques au matériau. Le fichier recette permet de dupliquer exactement les applications du même processus. En outre, le cyclage de la température, le diagnostic à distance et la surveillance, et le stockage des recettes facilitent encore l'optimisation et des résultats cohérents. 490/480 peut fonctionner en plusieurs modes, y compris la gravure, les cendres, propres et secs, permettant des processus en plusieurs étapes, comme la passivation in situ pour réduire les résidus sur les surfaces exposées du substrat. Le système effectue une gravure de haute uniformité jusqu'à 10 nanomètres avec un débit de 170 plaquettes par heure, tout en éliminant l'érosion de base habituellement associée aux méthodes de gravure humide. Les composants de LAM RESEARCH 490/480 etcher/asher comprennent un écran d'affichage/d'exploitation ProFace TM et une carte E/F-32PCI qui permet un contrôle automatique au niveau des plaquettes. Le système comprend également un filtre sub-micron, une commande dynamique de pompe, un Robot Loadlock à motifs lithographiques, et une chambre PECVD qui est reliée à la chambre principale de graveur/laveur. 490/480 etcher/asher est conçu pour répondre aux exigences strictes des applications de production de masse et est idéal pour la passivation, diélectrique, et d'autres applications délicates. Les fonctionnalités avancées et les paramètres de processus contrôlés fournissent des résultats fiables et reproductibles, améliorant la précision et l'efficacité.