Occasion LAM RESEARCH 490 / 590 #293817052 à vendre en France

LAM RESEARCH 490 etcher/asher est un équipement compact et polyvalent de gravure et de cueillette de plasma conçu pour la recherche et le développement ou la production de semi-conducteurs. Il est doté d'un design multi-chambres qui permet le traitement simultané de différents matériaux, tels que les plaquettes semi-conductrices, les substrats et les produits organiques. Le 490 comprend une gamme de procédés avancés de gravure et d'ashing qui utilisent le plasma haute fréquence et une technique assistée chimiquement pour obtenir une haute sélectivité de gravure. L'unité est contrôlée par un système PLC et dispose d'une faible empreinte, ce qui la rend idéale pour les laboratoires de petite ou moyenne taille. Le 490 est une unité à double chambre avec une chambre de réaction principale et une chambre auxiliaire située au-dessus de celle-ci. La chambre principale est utilisée pour les procédés de gravure et de cueillette impliquant jusqu'à douze plaquettes de 2 ". Il accueille également des échantillons tels que des substrats et des produits organiques à l'aide d'un bateau à quartz en charge. La machine comprend également un port de visualisation et un port de spectroscopie plasma pour surveiller les processus de gravure. LAM RESEARCH 490 est conçu pour offrir des capacités de gravure et d'ashing de haute précision avec un impact environnemental minimal par rapport aux autres systèmes de nettoyage. En outre, l'optimisation des processus peut être effectuée efficacement à l'aide du logiciel de support complet de l'outil. Le logiciel de processus permet d'établir les paramètres du processus et de contrôler les processus de gravure et de cueillette. Sa fonction de diagnostic avancée permet également d'identifier facilement tout problème possible avec l'actif et de s'y attaquer rapidement. Le modèle est également équipé de dispositifs de sécurité avancés, tels qu'un équipement d'alarme de surpression, des régulateurs de température, et la surveillance active du gaz et de la chimie. En outre, le 490 dispose de ICED, un système de diagnostic autonome qui aide à identifier et diagnostiquer les problèmes de processus, permettant une résolution rapide et minimisant les temps d'arrêt. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH 490 est un graveur/asher idéal pour la recherche et le développement, la production de semi-conducteurs et d'autres applications de nettoyage avancées. Il offre des processus de gravure et d'ashing efficaces, ainsi qu'un logiciel d'optimisation de processus étendu. Ses caractéristiques de sécurité avancées garantissent un fonctionnement sûr et avec un impact minimal sur l'environnement.