Occasion LAM RESEARCH 490 / 590 #9119465 à vendre en France
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ID: 9119465
Lot of AutoEtch Systems:
(2) 490/590
(1) 590
(2) 490
Includes accessories.
LAM RESEARCH 490/590 est un équipement avancé de graveur/asher conçu pour la technologie des semi-conducteurs. Il fournit des solutions innovantes pour des processus de gravure, de cendrage et de recuit précis. Il est conçu pour graver et recuit des tranchées extrêmement précises, des trous de contact, des micro-viaset des via-trous. Il supporte également les procédés avancés de tranchées, de cuivre et de gravure diélectrique. Les modèles 490/590 utilisent le contrôle de processus GEMINI®, une technologie de pointe développée spécifiquement pour ce système de graveur/asher avancé. GEMINI® est un progiciel intégré qui permet d'obtenir des fonctionnalités de processus supérieures et des résultats prévisibles. Il aide à optimiser la performance de l'unité, assurant que chaque gravure ou travail de recuit est complété selon les spécifications. LAM RESEARCH 490/590 est conçu pour être un graveur/asher peu coûteux et rentable pour la fabrication de semi-conducteurs. Il peut gérer en toute sécurité jusqu'à 5 "de plaquettes et avec sa séquence de chargement automatisée, il peut minimiser la manipulation de plaquettes et maximiser le débit de processus. Il est fabriqué avec la technologie avancée de la salle blanche, avec des systèmes de diffusion de l'azote et des gaz cométaires à haut rendement qui préviennent les contaminations et fournissent un environnement de processus propre. 490/590 utilise une technologie de gravure avancée avec une large gamme de paramètres de processus sélectionnables pour fournir des résultats supérieurs. Le débit de gaz, la pression, la polarisation et la température sont tous réglables et surveillés. Ces réglages permettent l'optimisation de chaque processus de gravure, fournissant les meilleurs résultats pour une variété d'applications. LAM RESEARCH 490/590 offre de la flexibilité à l'utilisateur final et est capable de fonctionner selon différents modes. Le « mode standard » est le meilleur lorsque vous produisez plusieurs gravures de taille et de forme similaires, tandis que le « mode step » est idéal pour des travaux de gravure plus précis. En outre, 490/590 supporte des dispositifs de sécurité avancés, tels que des capteurs d'arrêt de gaz, des systèmes de gestion de l'alimentation et des systèmes de verrouillage automatisé des portes. En outre, la machine dispose d'un outil d'échappement à haut rendement qui empêche les particules de processus d'entrer dans l'environnement contrôlé. En résumé, LAM RESEARCH 490/590 est un actif de graveur/asher très avancé. Il utilise le contrôle de processus GEMINI®, un logiciel sophistiqué, et prend en charge jusqu'à 5 "wafers. Il est capable de graver et recuit des tranchées extrêmement précises, des trous de contact, des micro-vias et des via-trous avec d'excellents résultats. En outre, il offre une large gamme de paramètres de processus et prend en charge des fonctionnalités de sécurité avancées. Au total, 490/590 est un excellent choix pour les applications de gravure à semi-conducteur et de recuit.
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