Occasion LAM RESEARCH 490 / 590 #9145832 à vendre en France

ID: 9145832
Taille de la plaquette: 4"-6"
Etcher, 4"-6" ENI OEM 12 RF Generator.
LAM RESEARCH 490/590 sont des chambres à vide conçues pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Ils sont équipés de canons à faisceau d'électrons performants, capables de produire des motifs de sous-microns dans une variété de matériaux photorésistants. Les systèmes sont capables de graver des motifs en plaquettes à des vitesses allant jusqu'à 500 mm par seconde, et peuvent produire des modèles de tailles allant de 0,01 à 3,0 microns en fonction de la taille. La série 490/590 offre également des capacités de gravure plasma avancées, avec des processus avancés de planarisation et de mise en forme. Les chambres sont très configurables, avec un certain nombre d'options pour optimiser le processus de gravure aux exigences spécifiques du dispositif. La source de plasma peut être ajustée pour contrôler le flux d'ions et l'énergie d'ions pour les formes de gravure avec une meilleure définition des bords et sélectivité. La chambre présente un certain nombre de caractéristiques de sécurité pour protéger l'utilisateur et éviter d'exposer les plaquettes à des conditions dégradantes. LAM RESEARCH 490/590 dispose d'un équipement de contournage robuste pour contrôler avec précision la profondeur et le profil des caractéristiques de gravure, ainsi que pour réduire les dommages aux plaquettes pendant le traitement. Le système peut être ajusté optiquement pour fournir une gravure uniforme sur l'ensemble de la plaquette. La chambre à vide peut être configurée pour permettre la gravure de plusieurs couches simultanément, permettant des temps de débit plus rapides. 490/590 est conçu pour être compatible avec une variété de systèmes de traitement humide, et peut être synchronisé avec d'autres systèmes dans la séquence de fabrication. L'unité est équipée d'une machine d'automatisation avancée permettant une intégration facile dans les lignes de production. Les systèmes sont conçus pour répondre aux normes de propreté les plus strictes, garantissant que les plaquettes restent exemptes de défauts tout au long du processus de fabrication. La série LAM RESEARCH 490/590 est également compatible avec une large gamme de précurseurs et d'autres matériaux pour les procédés post-gravure. 490/590 est la solution idéale pour les applications de gravure de précision dans un large éventail d'industries, y compris la fabrication de semi-conducteurs, de dispositifs médicaux et de dispositifs MEMS. L'etcher/asher est construit pour la vitesse et la précision, et sa conception robuste assure qu'il fournit des résultats cohérents pour les années à venir.
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