Occasion LAM RESEARCH 490 #199861 à vendre en France

Fabricant
LAM RESEARCH
Modèle
490
ID: 199861
Auto etch system.
LAM RESEARCH 490 est un graveur/asher utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Cet équipement dispose d'une source de plasma à faible énergie et à couplage inductif (PIC) avec un système de distribution de gaz spécialisé qui permet des géométries de processus aussi petites que 0,25 microns. 490 est conçu pour la gravure de haute précision, avec un débit et un rendement de processus élevés. Le processus de gravure de l'unité LAM RESEARCH 490 est effectué par une plaque parallèle ou source rotative ICP, ce qui permet un contrôle précis des variables de processus. La puissance de la source est réglable pour accueillir différents matériaux. La machine de distribution de gaz sur 490 est composée d'un maximum de cinq conduites de gaz, ce qui permet de contrôler le mélange de gaz utilisé dans le processus plasma. Le mélange gazeux est étroitement surveillé afin d'assurer un processus de gravure optimal. La configuration de source rotative sur LAM RESEARCH 490 dispose également d'un obturateur rotatif qui est utilisé pour diminuer la quantité de bombardement ionique lors de la gravure de structures délicates, telles que le silicium contraint. En outre, l'outil 490 peut utiliser une variété de mélanges de chimie, offrant une flexibilité dans le processus de gravure. Cela peut aider à optimiser la durée de vie et le contrôle des coûts, tout en offrant des performances fiables. LAM RESEARCH 490 dispose également de logiciels avancés, permettant à l'utilisateur de configurer des recettes de processus pour répondre aux besoins spécifiques de l'appareil. En outre, le modèle 490 offre une excellente répétabilité, avec une capacité de stockage allant jusqu'à 1000 recettes. Son équipement de serrage de précision assure que les plaquettes ne se chaîne pas pendant le traitement, et sa boîte programmable de distribution de gaz (PDB) améliore l'uniformité du processus de gravure. De plus, le système automatisé de détection des points d'extrémité de LAM RESEARCH 490 élimine les conjectures et fournit un résultat précis à chaque fois. 490 etcher/asher est une unité avancée conçue pour la gravure rapide, cohérente et précise et la cueillette de dispositifs semi-conducteurs pour la fabrication de technologies de pointe. Sa grande capacité, sa précision et sa répétabilité le distinguent des autres systèmes, créant ainsi une solution fiable pour la fabrication des puces.
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