Occasion LAM RESEARCH 490 #293604249 à vendre en France

LAM RESEARCH 490 est un dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD) équipé Asher/Etcher conçu pour un débit, une flexibilité et une fiabilité accrus. Cet outil de traitement robuste présente une grandeur de gaufrette 267 mm x 267 mm, 1.6 pression de base de mbar et une Chambre de Serrure/Processus de Charge de Capacité de Serrure de Charge de 7 kW / une Haute Chambre de Serrure/Processus de Charge de Capacité. Le procédé thermique haute vitesse est configuré pour fonctionner entre 30 ° C et 250 ° C, avec jusqu'à 13 ensembles programmables de recettes et de paramètres de processus avec 4 têtes de dépôt et 5 chambres de gravure. 490 est construit avec une technologie de pointe pour assurer des résultats de traitement cohérents et reproductibles. Sa fonction auto-pente permet de minimiser les erreurs de placement des plaquettes dans la chambre lors du cyclage thermique, et son système de manutention des plaquettes redessiné facilite la récupération des plaquettes pour les opérateurs. La gravure/asher offre également une alimentation de substrat RF multi-fréquence pour les applications de dépôt et de gravure de pulvérisation/gravure, ainsi qu'une technologie avancée d'adaptation de source d'impédance harmonique pour un meilleur contrôle de traitement. LAM RESEARCH 490 dispose également de capacités de conception flexibles qui permettent aux clients de personnaliser leur recette de processus pour un type de substrat, une application, des spécifications de qualité et des exigences de dépôt spécifiques. Un chauffage intégré et des ports de refroidissement intégrés assurent un chauffage et un refroidissement uniformes, respectivement, pour améliorer l'uniformité des procédés. La 490 offre également une gestion avancée des tourelles pour simplifier le fonctionnement, comme les capacités Multi-tourelles et Macrobatch, ainsi que des capacités avancées de surveillance et de diagnostic du système. En outre, cet asher/etcher équipé de PECVD utilise une interface graphique Web avancée pour réduire l'interaction, la configuration et le temps de configuration des utilisateurs. Il dispose d'un affichage intuitif qui simplifie la programmation et réduit la complexité des opérations manuelles. La conception contribue également à améliorer la stabilité du système et à réduire les temps d'arrêt. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH 490 est un outil asher/etcher performant et robuste conçu pour fournir un traitement supérieur avec des résultats prévisibles et reproductibles. Ses caractéristiques technologiques avancées permettent aux clients d'atteindre les plus hauts niveaux de débit, de flexibilité et de fiabilité.