Occasion LAM RESEARCH 490 #293657950 à vendre en France

LAM RESEARCH 490 est un graveur/asher conçu pour faciliter la fabrication efficace et rentable de dispositifs semi-conducteurs. 490 est conçu pour des applications de production et de recherche, fournissant un haut débit et un contrôle répétable des processus, qui peut être adapté pour répondre à des besoins spécifiques. La chambre de procédé est cylindrique à deux étages, constituée d'un mécanisme de chauffage inférieur et d'une chambre de réaction de niveau supérieur. Un équipement automatisé de transfert de plaquettes facilite le transport de plaquettes entre les deux chambres. La chambre inférieure dispose d'un suscepteur à quartz couplé à un système de manutention des gaz qui permet une livraison contrôlée des gaz de procédé. Les gaz sont délivrés par un collecteur multi-gaz et peuvent être utilisés pour créer un plasma. La chambre de réaction de niveau supérieur contient une section de refroidissement pour les opérations de cueillette. Le LAM LAM RESEARCH 490 est conçu pour le fonctionnement d'une seule plaquette et peut être configuré avec divers composants spécifiques au processus, y compris les manutentionneurs de plaquettes, la source de gaz, les manomètres de base, la spectroscopie optique d'émission, les manomètres de chambre, la tête de dépôt ou la douche, les joints de procédé et les diagnostics embarqués. Il peut également être équipé d'un épurateur d'échappement, d'une boucle de contrôle de pression et de dispositifs de sécurité supplémentaires. Le LAM 490 est conçu pour offrir une gravure et un ashing précis des substrats semi-conducteurs de silicium avec des caractéristiques de haute qualité et un contrôle serré des paramètres du processus. Il permet une assurance qualité répétable et l'optimisation qui peut être adaptée aux besoins spécifiques des clients. Une capacité d'autosurveillance est également disponible par l'intermédiaire de l'unité de contrôle, qui peut être utilisée pour contrôler la qualité du matériau gravé ou cendré. Le LAM LAM RESEARCH 490 peut également être utilisé pour le cendrage à faible teneur alcaline, un procédé de gravure innovant qui utilise les effets combinés de la chaleur et du plasma pour produire des résultats de gravure à haute performance avec une contamination résiduelle minimale. Il peut également être utilisé pour une gravure de métaux faiblement alcalins, où le métal est noyé dans le plasma, réduisant la contamination et obtenant des résultats de gravure répétables. Le LAM 490 etcher/asher est une machine robuste pour graver et aspirer une variété de dispositifs semi-conducteurs. Les capacités de l'outil, combinées à ses caractéristiques polyvalentes, en font un excellent choix pour des applications allant du développement de processus à la fabrication de dispositifs.