Occasion LAM RESEARCH 490 #293771117 à vendre en France

LAM RESEARCH 490
Fabricant
LAM RESEARCH
Modèle
490
ID: 293771117
Taille de la plaquette: 6"
Etchers, 6".
LAM RESEARCH 490, également connu sous le nom d'asher de gravure, est un équipement conçu pour la gravure plasma et la passivation de matériaux semi-conducteurs. Il peut être utilisé pour produire des caractéristiques personnalisées et complexes dans un large éventail de substrats tout en atteignant un niveau très élevé de précision, de répétabilité et de contrôle des processus. 490 utilise la technologie plasma pour graver et déposer des couches minces de matériau sur le substrat, créant un motif de gravure distinct. Le système peut être utilisé pour divers matériaux tels que le silicium, l'arséniure de gallium et l'alumine. L'unité comprend une source de plasma à résonance cyclotron électronique (ECR), une alimentation par radiofréquence (RF) et un refroidisseur pour contrôler la température de la chambre de réaction. La source de plasma ECR permet un plasma très uniforme, assurant une profondeur de gravure uniforme sur toutes les zones du substrat, tandis que l'alimentation RF fournit la puissance nécessaire pour initier le processus et réguler les paramètres du plasma pour assurer la bonne vitesse de gravure. Le contrôle de la température permet également d'assurer des résultats uniformes. LAM RESEARCH 490 offre plusieurs fonctionnalités qui lui permettent d'effectuer une variété de tâches de gravure avec précision et une grande précision. Par exemple, la machine est équipée d'une fonction de réglage automatique qui permet d'optimiser et de contrôler facilement les paramètres du processus au type de substrat en cours de traitement. De plus, l'outil comprend un atout capteur pour surveiller et réguler les variables critiques telles que la pression, la température et les champs électriques. Cette boucle de rétroaction permet d'assurer une efficacité optimale du processus. Le modèle comprend également une grande variété de composants et accessoires interchangeables, permettant une utilisation avec un large éventail de matériaux et d'applications. Ceux-ci comprennent un équipement de levage de plaquettes, effecteur d'extrémité, mandrin thermique, et les taux de gravure programmables par l'utilisateur. En outre, 490 peut également être équipé d'un autosampeur, lui permettant de traiter successivement plusieurs plaquettes. En résumé, LAM RESEARCH 490 est un système de gravure conçu pour fournir des caractéristiques personnalisées et complexes sur une variété de substrats. Il est équipé d'une source de plasma ECR, d'une alimentation RF, d'un réglage automatique, d'un capteur, d'une machine de levage de plaquettes, d'un effecteur d'extrémité, d'un mandrin thermique et de vitesses de gravure programmables par l'utilisateur pour assurer la précision, la répétabilité et le contrôle du processus. De plus, un automate permet à l'outil de traiter plusieurs plaquettes successivement.
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