Occasion LAM RESEARCH 490 #293778205 à vendre en France

LAM RESEARCH 490, également connu sous le nom d'Echer/Asher, est un équipement avancé de gravure et de cueillette utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. 490 Etcher/Asher offre une vitesse, une précision et une fiabilité supérieures pour les processus critiques de gravure et de cueillette des dispositifs semi-conducteurs. Ce système leader de l'industrie est capable de traiter des plaquettes jusqu'à 200 mm de diamètre et peut répondre aux exigences de performance exigeantes de la préparation des plaquettes, du décapage et du nettoyage de la résine photosensible, de la gravure et de la bande du masque dur et de la redistribution des dopants. LAM RESEARCH 490 Etcher/Asher utilise une technologie de pointe pour le contrôle des unités critiques et la surveillance des processus, permettant un ajustement précis de la température du substrat, de la pression et de l'addition de gaz de procédé. Sa machine standard de gestion thermique des plaquettes dispose d'une commande de chauffage segmentée et de bandes de capteurs de substrat indépendants, assurant des résultats de processus reproductibles. L'outil de haute précision permet de réguler la température du processus à 0,2 ° C par surface, tandis que six collecteurs d'eau réfrigérée placés stratégiquement assurent un refroidissement uniforme. 490 Etcher/Asher est très configurable et peut être adapté aux besoins de processus spécifiques. Sa flexibilité et son outil avancé de contrôle des processus garantissent une uniformité de profil de gravure supérieure et une productivité de processus élevée. Sa source de plasma peut être configurée pour une variété de produits chimiques de procédé de gravure, y compris le chlore, le brome et le fluor. LAM RESEARCH 490 propose également un refroidissement conforme avancé dans lequel le liquide de refroidissement circule à travers l'anode, en gardant la température de la source de plasma constante pendant le processus. 490 fournit des capacités de surveillance et de contrôle sophistiquées qui permettent à ses utilisateurs d'ajuster divers composants de processus pour assurer une performance optimale des plaquettes. Cela comprend la flexibilité de programmer des paramètres indépendants pour chaque type de plaquette, la capacité de programmer une large gamme de températures, de pressions et de flux de gaz, et une fonction 'auto clean' qui s'active juste avant le début de l'exécution, minimisant l'interface du processus. De plus, les capacités de diagnostic à distance du modèle permettent aux utilisateurs de résoudre les problèmes à distance, fournissant une rétroaction en temps réel avec un minimum de temps d'arrêt. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH 490 Etcher/Asher fournit la vitesse, la précision et la fiabilité nécessaires pour une gravure et une cendre sophistiquées sur une variété de matériaux. Son équipement avancé de contrôle des processus et sa configuration flexible en font un choix idéal pour la production de composants microélectroniques.