Occasion LAM RESEARCH 490 #83458 à vendre en France

LAM RESEARCH 490 est un équipement avancé de gravure ionique réactive lourde (RIE) utilisé pour la gravure, le nettoyage et d'autres traitements de surface de plaquettes semi-conductrices. Ce système utilise du matériel et des logiciels de pointe pour fournir des résultats très fiables et reproductibles dans une variété de matériaux, du silicium au diélectrique et aux métaux en passant par les semi-conducteurs composés. 490 est livré de série avec un interféromètre laser à résolution 0,1 um et profilomètre optique pour assurer un profil de gravure précis. Le plasma est créé dans la chambre isolée en appliquant un champ électrique de haute énergie à un gaz chimiquement réactif, ou en chauffant un gaz plasmagène à une « avalanche » virtuelle. Les recettes de gravure peuvent être personnalisées pour répondre à des besoins spécifiques. LAM RESEARCH 490 utilise également un support de substrat suspendu et des structures de support, permettant d'effectuer une large gamme de processus de gravure sur une variété de matériaux. En outre, 490 est équipé de systèmes de contrôle de pression qui peuvent répondre à toutes les exigences de processus. LAM RESEARCH 490 est capable de produire des rapports d'aspect très élevés pour la gravure avec des profondeurs allant de 0,05 à 1 um. Il dispose également d'une unité de contrôle des réactifs à faible charge (LLRC) qui permet un contrôle précis des flux de réactifs et une uniformité à travers le substrat. Les ions peuvent être déposés sélectivement sur le substrat, ce qui réduit l'élimination des matières indésirables. 490 dispose d'une source brevetée de plasma à couplage inductif par radiofréquence (RFICP). Cela permet un diagnostic plasma in situ, avec une spectroscopie modulée par impulsion et une imagerie par émission du plasma. Cette capacité est cruciale pour analyser les processus de gravure afin d'optimiser les conditions des processus de gravure et d'améliorer le débit. LAM RESEARCH 490 dispose de plusieurs options pour réduire le co-dépôt de matières critiques et éliminer tout potentiel de rétro-mouillage. Il s'agit d'une économie importante lors de l'exploitation de grands lots de substrats. 490 utilise un échappement à basse dépression pour assurer l'évacuation complète de la chambre de réaction, ne laissant aucune trace de sous-produits ou de produits de réaction. LAM RESEARCH 490 dispose également d'une machine de sécurité avancée, avec des licenciements pour assurer un environnement de travail ininterrompu. 490 est certifié pour la conformité aux contrôles CE et CSA, en veillant à ce qu'il réponde aux normes de sécurité les plus élevées et puisse être utilisé dans n'importe quel environnement. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH 490 est un outil essentiel dans le processus de production de semi-conducteurs. Sa technologie de pointe donne des résultats précis et reproductibles, et ses systèmes de sécurité dépassent les normes de l'industrie. 490 est le choix idéal pour toutes les exigences de gravure ou de nettoyage dans l'industrie des semi-conducteurs.