Occasion LAM RESEARCH 490 #9031604 à vendre en France

LAM RESEARCH 490 est un graveur de plasma avancé et asher chimique. Il fait partie des plasmas et cendres de la série E de LAM, qui sont conçus pour produire des motifs de gravure de haute précision sur une variété de substrats, y compris les matériaux diélectriques, polyimides et SiO2. Le LAM 490 fonctionne à une puissance nominale de 300W et combine une capacité de gravure prolongée avec de faibles niveaux de contamination et une uniformité améliorée. LAM RESEARCH 490 est livré avec une variété de capacités de conduite de gaz et de pression, qui peuvent être ajustées pour tenir compte d'une large gamme de pression et de concentration de processus. Cette gamme de flexibilité permet des applications avec une variété de types de cellules, y compris, mais sans s'y limiter, la gravure à deux niveaux, la gravure par étapes et les modifications pour des applications avancées, comme les profils verticaux. 490 dispose également d'un excellent gazage, ce qui lui permet de maintenir la précision avec des scénarios de gravure difficiles, tels que les plasmas formés de carbone, de fluor et d'oxygène. De plus, la sélectivité de gravure qui peut être obtenue avec LAM RESEARCH 490 est superbe et elle est souvent utilisée dans des domaines tels que la préparation de surface de plaquettes, la planarisation chimico-mécanique (CMP) et la gravure diélectrique inter-niveaux. Un autre avantage de 490 est qu'il présente une large gamme de configurations et d'options de chambres, telles qu'une source ionique à deux étages ou à deux étages, des réseaux d'antennes rotatives et linéaires, une capacité de pression variable et des fonctions de nettoyage intégrées. Cela permet de l'adapter aux besoins spécifiques d'un client. En outre, il est livré avec une puissance élevée, répétable gravures timers, ce qui donne aux opérateurs la capacité de contrôler avec précision le temps de processus, avec une variance minimale. De plus, LAM RESEARCH 490 dispose d'une source d'alimentation DC-RF avec des niveaux de puissance réglables et une fréquence réglable, qui permettent une gravure plus précise. Dans l'ensemble, 490 est un graveur de plasma avancé idéal et cendrier chimique pour une multitude d'industries et d'applications. Sa conception ultramoderne permet d'améliorer l'efficacité, la précision et le contrôle de la qualité avec une variété d'exigences de gravure de processus. Sa polyvalence et sa précision en font un excellent choix pour des projets complexes et haut de gamme.