Occasion LAM RESEARCH 490 #9089389 à vendre en France
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ID: 9089389
Etcher
Polyimide plasma
(6) Gas inputs
ENI OEM6-XL power supply
EDWARDS Drystar DP80 Dry pump
With EH-500 Booster and 1400 Controller.
LAM RESEARCH 490 est un équipement de gravure et de cendrage par voie humide conçu pour être utilisé dans les processus de fabrication industrielle. Il est capable de traiter une variété d'applications de gravure et de cendrage et est compatible avec une gamme de matériaux. Utilisant une combinaison de solvants et de catalyseurs, 490 peuvent graver ou aspirer des matériaux tels que le silicium, le verre, les métaux, les plastiques et les céramiques avec une grande précision. Il propose des procédés avancés de gravure et de cendrage, y compris la gravure par ions réactifs profonds (DRIE), un procédé qui utilise un ou plusieurs plasmas de gaz réactifs pour créer un profil de gravure avec un rapport d'aspect élevé et des motifs de gravure anisotropes. LAM RESEARCH 490 a une température maximale de fonctionnement de 800ºF (427ºC) et une pression maximale de 40 PSI, ce qui le rend adapté à une large gamme de matériaux durs. Il comprend un chauffe-substrat autonome qui offre un traitement par lots d'un maximum de six substrats à la fois et dispose d'une réponse rapide, environnement de fond bas. Un bain intégré de chlorure de cuprique maintient la bonne chimie de gravure, réduisant le risque de contamination de l'environnement environnant. La chambre de gravure de 490 est construite en acier inoxydable et dispose d'un grand port de vue permettant le chargement et le déchargement des substrats ainsi que la surveillance des opérations pendant le processus de gravure et de cendrage. Ce viewport permet également aux opérateurs de déterminer le degré de gravure ou de cueillette complète avec une excellente clarté. De plus, le système comprend un contrôleur de processus multi-étapes et une unité polyvalente de surveillance des points d'extrémité qui assure des résultats optimisés de gravure et d'ashing. La machine pilotée par ordinateur de LAM RESEARCH 490 permet un contrôle précis des cycles de gravure et de cendrage qui sont personnalisés pour un matériau et une application particuliers. L'interface utilisateur de l'outil est facile à utiliser et offre une variété de fonctionnalités avancées pour le fonctionnement efficace de l'actif. En outre, le modèle comprend une grande bibliothèque de paramètres opérationnels et de recettes, rendant les expériences faciles à configurer et à exécuter. Avec son rendement élevé, sa précision et sa répétabilité, le 490 est un équipement idéal pour les applications de gravure et de cendrage dans le secteur industriel.
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