Occasion LAM RESEARCH 490 #9094106 à vendre en France
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ID: 9094106
Taille de la plaquette: 4"-6"
Automatic plasma etcher, 4"-6"
Process: polysilicon, refractory metal silicides and nitrides
Wafer alignment capabilities
Built-in wafer transport mechanism
Computer controlled I/O: runs, executes recipes, hazard warnings and malfunctions
Currently non-operational in a cleanroom.
LAM RESEARCH 490 etcher/asher est un équipement à haut rendement et à haut débit pour la gravure et la cueillette de plaquettes, offrant un degré élevé de flexibilité pour divers procédés. Le système utilise des techniques de conception avancées pour obtenir des résultats prévisibles. Il est bien adapté pour les interconnexions à basse et haute densité, les applications de recherche et développement et le traitement de la production de dispositifs semi-conducteurs. La 490 est une unité à chambre unique qui se compose de deux composants principaux : le réactif Ion Etcher et Asher (RIEA) et l'alimentation RF. Le RIEA utilise un arc confiné magnétiquement pour générer le processus de gravure. Un arc est généré entre la plaquette et la cathode par application de potentiel négatif. La projection d'arc est focalisée à l'aide d'un anneau concentrique ETCH refroidi à l'eau pour contraindre le mouvement de l'ion et diriger les ions vers la plaquette. L'alimentation RF fournit une puissance continue réglable (allant de 0 à 500W) pour une génération de plasma optimisée, indépendante de la pression de la chambre. La machine est entièrement intégrée et facile à utiliser, avec une architecture logicielle flexible et des fonctionnalités de sécurité intégrées qui fournissent des capacités de contrôle des processus. En outre, l'outil a un taux de répétabilité élevé, un temps de cycle rapide et un faible risque de chaîne de wafer. LAM RESEARCH 490 offre une large gamme d'options de gravure et d'ashing, avec une bibliothèque de processus personnalisable qui permet aux utilisateurs d'adapter l'actif à leurs applications spécifiques. Le modèle est conçu pour fonctionner avec une large gamme de produits chimiques de nettoyage, tout en permettant des processus de gravure et de cueillette à haut débit et hautement contrôlés. 490 est conçu pour satisfaire ou dépasser les exigences de plusieurs normes de l'industrie pour la fabrication de semi-conducteurs. Il est conforme aux normes ISO 9001:2015, US FDA 21 CFR Part 11 et SEMI Sec 7. LAM RESEARCH 490 est un excellent choix pour toute application de gravure et d'ashing dans l'industrie des semi-conducteurs. Il fournit un équipement efficace, à haut rendement et à haut débit pour exécuter une variété de processus de gravure et d'ashing avec un degré élevé de contrôle des processus, de répétabilité et de sécurité.
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