Occasion LAM RESEARCH 490 #9112923 à vendre en France

LAM RESEARCH 490 est un graveur/asher conçu pour traiter des matériaux conducteurs de couches minces. C'est un outil de dépôt chimique en phase vapeur qui utilise une variété de composés chimiques pour s'évaporer et former un film mince d'un matériau désiré. 490 est capable de produire des films minces avec des épaisseurs jusqu'au niveau du nanomètre et avec une uniformité de composition. L'outil offre un débit élevé et une facilité de fonctionnement qui garantit une fabrication rapide et précise des films minces. LAM RESEARCH 490 est conçu avec une chambre à vide standard pouvant accueillir jusqu'à quatre plaquettes de diamètres allant de 2 à 8 pouces. L'outil peut également traiter jusqu'à quatre substrats de tailles variables. La chambre à vide est refroidie par un équipement de circulation d'air et est chauffée par deux chauffages à chambre indépendants. Cela assure une température uniforme et constante sur l'ensemble de la plaquette pendant le processus. 490 est capable de générer des pressions élevées, jusqu'à 10 Torr, lors de la gravure ou de l'ashing et peut être programmé pour obtenir des résultats reproductibles précis. LAM RESEARCH 490 est équipé d'une source d'évaporation de quartz capable d'atteindre des températures allant jusqu'à 2800 ° C Cela permet de déposer une grande variété de matériaux, y compris des photorésist négatifs et positifs et des métaux comme l'or, le cuivre et l'aluminium. La source peut également être utilisée pour le prétraitement de plaquettes avant traitement pour assurer une adhésion accrue de couches minces. 490 est également équipé d'un système de balayage de fréquence qui est utilisé pour assurer l'uniformité des cendres/gravures sur de plus grandes zones de substrat. Avec cette unité, un utilisateur peut sélectionner la fréquence à laquelle le procédé doit être appliqué, ce qui permet une production rapide et précise du matériau désiré. LAM RESEARCH 490 est également équipé d'une machine de surveillance à distance qui peut fournir des données en temps réel sur l'outil et ses processus. Cela permet d'effectuer des ajustements immédiats pour améliorer la performance des outils et garantir la production de produits de la meilleure qualité. De plus, l'outil est conçu avec un outil de surveillance multiple des plaquettes qui suit la chimie et la température de chaque plaquette pendant le processus de gravure/cueillette. 490 est un actif robuste et fiable qui est idéal pour la fabrication et l'examen de matériaux conducteurs de couches minces. Ce modèle offre une combinaison optimale d'uniformité et de précision, de manière rentable.