Occasion LAM RESEARCH 490 #9226106 à vendre en France
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LAM RESEARCH 490 asher/etcher est un équipement avancé de gravure/ashing de haute performance conçu pour fournir des résultats propres et reproductibles dans un large éventail de processus de gravure. 490 peut être utilisé pour graver une variété de matériaux de substrat tels que des plaquettes, des métaux, des polymères et des verres. Il a une plage de température de fonctionnement standard de 100-420 ° C, 4 processus reproductibles programmables, et un contrôleur de température intégré. LAM RESEARCH 490 peut être utilisé pour graver différents matériaux avec différentes techniques, ce qui le rend idéal pour un large éventail de processus de gravure. Le système utilise le procédé de recuit thermique rapide (RTA) - une méthode de chauffage rapide et de refroidissement des substrats pour graver rapidement et uniformément une profondeur déterminée. Il est compatible avec une variété de gaz, y compris l'halogène et les mélanges fluorocarbonés - permettant des processus précis et reproductibles. 490 dispose d'un module de boîte à gaz et d'une pompe à vide qui travaillent ensemble pour obtenir des résultats de gravure précis. Le module de boîte à gaz contient tous les composants nécessaires pour créer une atmosphère contrôlée, tels que la buse, le débitmètre et le régulateur de pression, tandis que le module de pompe à vide maintient un environnement de gravure constant et stable. LAM RESEARCH 490 est également équipé d'une technologie de contrôle de pointe, comme un écran d'affichage, un clavier et un module de contrôle - fournissant aux opérateurs un contrôle complet sur le processus de gravure. La 490 est entièrement automatisée et peut être programmée pour graver plusieurs substrats simultanément, avec un temps de cycle typique inférieur à cinq minutes. Les condensateurs à longue durée de vie et la conception thermique efficace de la machine garantissent des résultats uniformes et reproductibles. Il dispose également d'un outil de refroidissement unique qui aide à minimiser les temps d'arrêt et les coûts en capital. En résumé, LAM RESEARCH 490 est un actif de gravure/cueillette à haute performance qui fournit des résultats propres et reproductibles pour un large éventail de processus de gravure. Il est équipé de régulateurs de température avancés, d'une boîte à gaz et d'un module de pompe à vide, ainsi que d'un modèle de commande sophistiqué qui permet à l'utilisateur de contrôler avec précision l'ensemble du processus. C'est un équipement efficace, fiable et économique qui peut être utilisé pour graver une variété de matériaux de substrat avec un temps de cycle typique de moins de cinq minutes.
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