Occasion LAM RESEARCH 490 #9226284 à vendre en France

LAM RESEARCH 490 est un graveur/asher humide conçu pour fournir des capacités de transfert et de gravure de motifs de haute précision dans le processus de production des semi-conducteurs. Il offre à la fois des temps de cycle rapides et des résultats de processus répétables, permettant aux concepteurs de puces de produire de petits circuits intégrés complexes avec une grande fiabilité. La 490 possède une grande chambre de résiste liquide et de gravure pouvant accueillir des plaquettes de 4 pouces ou jusqu'à 8 pouces dans sa mini-chambre. Il dispose d'un champ automatisé de surveillance du niveau de liquide en temps réel (Auto-LVM) et d'un équipement résistant de gestion des matériaux (RAM) qui assure une gravure précise de chaque couche. Sa serrure de chargement haut de gamme comprend jusqu'à dix recettes de processus et un rideau d'air propre pour les environnements de production de puces. En outre, il offre un contrôle de processus serré pour un transfert de motif optimal, une gravure uniforme précise et la réduction des défauts. Le système est livré avec un robot de manutention de plaquettes, une source de gravure à venturi de précision et une unité de distribution de gaz laminaire pour assurer une uniformité de focalisation et de vitesse de gravure. Il comprend également un rinceur à eau automatisé et un loadlock propre pour un transfert rapide et un loadlock chauffé pour un temps d'équilibrage plus rapide afin d'améliorer le débit. LAM RESEARCH 490 dispose de commandes logicielles avancées et d'une interface graphique conviviale avec une indication d'alarme personnalisée. Il fournit aux utilisateurs une machine automatisée de qualification des outils avec une fonction d'optimisation hors ligne et un moniteur OEE in-situ pour surveiller le temps de cycle et le taux de défaut. De plus, une vaste base de données de processus permet un fonctionnement rapide et répétable. 490 est un outil tout-en-un gravure/gravure-asher conçu pour des résultats reproductibles de haute précision. Il convient à une utilisation dans des procédés de fabrication de semi-conducteurs à petite et grande échelle, fournissant une solution rentable pour une variété de besoins de procédés.