Occasion LAM RESEARCH 490 #9226288 à vendre en France

LAM RESEARCH 490 est un graveur/asher de pointe utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Il fournit la technologie pour graver et asher les couches qui font partie de la fabrication des circuits intégrés. Cette machine est conçue pour fonctionner avec la chimie du procédé humide et sec et peut manipuler différents types de substrats. Il s'agit d'une gravure/asher entièrement automatisée, rapide et très précise pour les dispositifs semi-conducteurs critiques. 490 peut fonctionner jusqu'à cinq chambres de processus à la fois. Toutes les chambres de procédés disposent d'un système intégré de réduction des PFPE qui aide à réduire les émissions de matières dangereuses. Il comprend également un système d'auto-alignement pour la cohérence robuste de la plaquette à la plaquette. Chaque chambre présente une uniformité de gravure exceptionnelle et une uniformité de vitesse de gravure. Il comprend une source éprouvée de plasma inductif (PIC) pour la gravure et le cendrage stables et de haute uniformité dans un large éventail de conditions. LAM RESEARCH 490 propose des options de recette flexibles. Il peut atteindre une température maximale de 700 ° C et de multiples flux de gaz qui peuvent être réglés individuellement pour correspondre à la recette de procédé. La vitesse de gravure est ajustée par le régulateur de débit massique (MFC) pour affiner la finition de surface du substrat. Pour le cendrage, les technologies de cendrage à base de plasma UV peuvent être utilisées pour créer la finition de surface souhaitable. 490 fournit des diagnostics avancés tels que la reconnaissance automatique des motifs et la détection des défauts. Il offre également un contrôle de la rugosité de surface pré-gravée ou gravée et des applications de gravure multicouche. Le procédé de gravure comprend également un contrôle du dépôt pour l'uniformité qui aide à réduire les taux de perte de substrat. LAM RESEARCH 490 offre également des processus d'itération uniques pour améliorer l'efficacité et le rendement du procédé. Dans l'ensemble, 490 est un graveur/asher extrêmement polyvalent et fiable qui fournit des résultats cohérents pour la fabrication avancée de dispositifs semi-conducteurs. Avec ses fonctionnalités avancées et ses capacités puissantes, il est le graveur/asher parfait pour répondre aux exigences des applications les plus complexes.