Occasion LAM RESEARCH 490 #9232674 à vendre en France

LAM RESEARCH 490 est un équipement Etcher/Asher utilisé pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. Cette machine est capable de graver et d'aspirer efficacement une grande variété de matériaux sur des plaquettes jusqu'à 304,8 mm (12 po) de diamètre. Il utilise une chambre de plénum de 1350 mm (53,15 po), conçue pour le traitement des plaquettes à double face ; les plaquettes peuvent être chargées avec des outils de grappes standard, permettant ainsi à un seul équipement de traiter simultanément les deux côtés de la plaquette. Le système est très modulaire, offrant une flexibilité au niveau des composants pour permettre la personnalisation pour répondre à des besoins spécifiques. 490 dispose d'un grand volume de chambre avec plasma haute performance pour gérer les applications de gravure et d'ashing sur une large gamme de paramètres de fonctionnement. LAM RESEARCH 490 utilise une chambre passivée robuste et monobloc en acier inoxydable conçue pour minimiser la production de particules induite par le plasma et assurer l'uniformité de température. L'unité est exploitée dans un environnement propre et est capable de charger directement les flancs pour une grande pureté et une contamination minimale. Pour assurer des résultats constants et répétables, les processus de gravure et de cueillette sont contrôlés par un contrôleur plasma avancé. Le contrôleur intuitif basé sur OS fournit une représentation graphique des conditions du processus pour assurer une répétabilité cohérente. La machine dispose également d'une distribution rapide et uniforme de la puissance RF pour assurer des performances de gravure et de cendrage optimales. 490 est capable de graver et de soutirer tout type de matériau. Il est conçu avec une gamme de différents gaz, tels que le chlore, l'argon, l'hydrogène, et d'autres pour répondre à diverses exigences matérielles. Il a également la capacité d'effectuer des processus de gravure multi-étapes pour la gravure précise de structures complexes. La capacité de cuisson de cet outil est également impressionnante, car il peut cuire jusqu'à 450 ° C (842 ° F) avec un contrôle continu de la température. Pour compléter le processus, un atout de détection dynamique du point final aide à vérifier les résultats du processus, en s'assurant que le point final approprié a été obtenu. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH 490 est un modèle de graveur/asher efficace qui convient à un large éventail d'applications. Avec sa chambre sophistiquée et ses outils contrôlés par ordinateur, 490 peuvent fournir des résultats cohérents et reproductibles avec une contamination minimale. La distribution de puissance RF haute performance, l'uniformité de température et la capacité de gaz multiple offrent la flexibilité nécessaire pour personnaliser les processus de gravure/cueillette afin de répondre à tous les besoins spécifiques.