Occasion LAM RESEARCH 490 #9242239 à vendre en France

LAM RESEARCH 490 est un graveur/asher conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. L'outil a été spécialement développé pour améliorer le processus de traitement des dispositifs semi-conducteurs, permettant une gravure et un ashing des substrats plus efficaces et plus précis. 490 utilise différentes conditions de pression et de température permettant des processus de gravure/cendres spécifiques. L'outil est équipé de plusieurs recettes sur le même substrat pour améliorer le rendement. Le procédé permet une gravure ciblée et un cendrage dans des zones de processus définies, ce qui permet un produit final plus uniforme. Le cendrier de plasma basse pression est utilisé pour le cendrage de matière organique et est également utilisé pour le dessalement de plasma. Le plasma basse pression permet une gravure rapide sans endommager le substrat et laisse une surface très propre avec une bonne uniformité. Le graveur plasma haute pression est conçu pour graver efficacement les métaux, les oxydes et les polymères. Le système utilise des gaz Oxygène, Cl2 et SF6 pour éliminer la matière jusqu'à l'épaisseur désirée. Le système de contrôle automatique de LAM RESEARCH 490 permet une gravure stable, assurant un produit final cohérent. 490 est conçu pour apporter des capacités de processus améliorées à l'industrie des semi-conducteurs. Ses multiples capacités de processus permettent un traitement flexible et précis des substrats et sa gravure haute pression assure une gravure précise et un rendement amélioré. LAM RESEARCH 490 a été conçu avec un système de contrôle automatisé pour s'assurer que le processus est reproductible et que le mécanisme à haute pression refroidi par air maintient les plasmas propres, permettant une gravure plus précise et l'ashing des substrats des dispositifs semi-conducteurs.