Occasion LAM RESEARCH 490 #9244799 à vendre en France

LAM RESEARCH 490 est un graveur/asher qui offre des fonctionnalités avancées pour des performances à haute vitesse et un meilleur contrôle des processus. Utilisant la technologie linéaire de gravure verticale/cendrage, ce graveur/cendrier offre l'ultime performance de traitement des semi-conducteurs et de contrôle des processus. 490 se compose de deux chambres distinctes. La chambre de gravure offre un environnement de processus basé sur le vide, tandis que la chambre de cueillette offre un environnement de processus basé sur l'atmosphère. L'etcher/asher est également équipé d'un étage linéaire à quatre cadres, offrant une plus grande surface d'échantillonnage que les modèles traditionnels à deux cadres. La chambre de gravure de LAM RESEARCH 490 est équipée d'une source RF et micro-ondes, permettant une large gamme de techniques de gravure et de recuit telles que la gravure sèche, la gravure humide et le traitement post-gravure. Les substrats mobiles et fixes peuvent être chargés dans la chambre de gravure, offrant une large gamme de substrats et de tailles de caractéristiques. La chambre de gravure est également capable d'un fonctionnement sans pellicules, et comprend une tête de douche en quartz pour une gravure uniforme des échantillons. La chambre de soutirage de 490 utilise des pistolets à plasma à quartz pour la production de volume plus élevé. Cette chambre est également équipée d'un système de verrouillage et de transfert de charge pour un chargement et un déchargement efficaces des substrats. Les deux chambres offrent également un contrôle en boucle fermée du débit, de la pression et de la température, ainsi que des capacités de détection des points d'extrémité. LAM RESEARCH 490 offre également d'autres fonctionnalités avancées, comme une gamme de procédés de nettoyage de précision, des capacités de chargement d'oxyde et un système de cassettes de processus. Ce graveur/asher est conçu pour une utilisation optimale des gaz de traitement, avec une distribution de gaz à travers les parois et des conduites de gaz à double paroi qui maximisent l'efficacité de la livraison de gaz. En outre, cette gravure/asher est équipée d'une automatisation avancée, fournissant une grande variété de recettes de processus pour répondre à différentes exigences d'application. 490 est un graveur/asher puissant et fiable qui offre haute performance, contrôle de processus et précision. Avec son large éventail de techniques de gravure et de cendrage, de pistolets à plasma et d'automatisation prospective, LAM RESEARCH 490 est la solution idéale pour une variété de besoins de traitement des semi-conducteurs.