Occasion LAM RESEARCH 490 #9251245 à vendre en France

LAM RESEARCH 490 est un graveur et asher de haute performance utilisé dans la gravure et le nettoyage d'un large éventail de matériaux, y compris les métaux, les polymères, le silicium et d'autres matériaux semi-conducteurs. Il s'agit d'une structure multi-chambres avec une cassette de port de charge et de substrat, un seul verrou de charge, une chambre de pré-nettoyage, une chambre de gravure, une chambre de post-nettoyage, et une chambre de purge. La machine est conçue pour la gravure et le nettoyage des plaquettes semi-conductrices dans une seule chambre de traitement, permettant un traitement simultané ou séquentiel de plusieurs substrats. 490 utilise une recette de processus hautement configurable qui est construite selon les exigences de l'application. Il peut être programmé avec des sources variables de puissance RF, DC et AC, ainsi que d'autres paramètres tels que la pression, la température, le débit et le temps de séjour du plasma. L'équipement est équipé d'une caméra de vision directe haute résolution qui peut être utilisée pour surveiller le processus. La machine est également équipée d'un système d'enregistrement des données qui enregistre tous les paramètres et conditions du processus. LAM RESEARCH 490 peut être utilisé pour la gravure haute résolution, ainsi que la gravure ionique réactive, la gravure ionique réactive profonde, la gravure d'oxyde et la gravure d'oxyde avec une grande sélectivité de différents matériaux, ainsi que la gravure de matériaux avancés tels que les couches minces déposées en phase vapeur chimique. En outre, l'unité peut être utilisée pour le nettoyage de substrat tel que la gravure humide, l'électropolissage ou le nettoyage de substrat avec des agents de gravure chimique ou des gaz. 490 machine est conçue pour un environnement de production standard, fournissant un contrôle rigoureux du niveau de la plate-forme du processus et un débit élevé. L'outil est facile à utiliser et dispose d'une interface conviviale, ce qui le rend idéal pour les applications de traitement des plaquettes. La conception modulaire offre également flexibilité et évolutivité, permettant une intégration efficace avec d'autres équipements et processus de fabrication. LAM RESEARCH 490 est fiable et durable, ce qui le rend adapté à une utilisation à long terme dans des environnements de production.