Occasion LAM RESEARCH 490 #9262860 à vendre en France

LAM RESEARCH 490 est un équipement de graveur/asher conçu pour répondre aux besoins des applications les plus exigeantes. Avec ses capacités et ses performances de pointe, le système 490 est un outil de gravure et d'ashing très sophistiqué pour les applications semi-conductrices. LAM RESEARCH 490 dispose d'un grand nombre de fonctionnalités, toutes conçues pour aider à offrir des caractéristiques de gravure et d'ashing supérieures. Un robot wafer amélioré, doté d'une capacité avancée pour la manutention des plaquettes, assure moins de grattage des plaquettes, tandis que l'unité intégrée de manutention des plaquettes contribue à réduire le risque de dommages aux puces. Pour la gravure, 490 machines utilisent un outil innovant de contrôle de l'uniformité du plasma (PUC) contrôlé thermiquement pour ajuster et contrôler les paramètres de gravure pour obtenir les meilleurs résultats sur une variété de matériaux et de substrats. De plus, l'actif LAM RESEARCH 490 comprend un module de processus pré-propre (PCPM) configurable par substrat unique pour optimiser les résidus de processus sur divers substrats. Le modèle de commande robuste de 490 équipements garantit un haut degré de répétabilité et de reproductibilité des plaquettes. Cela permet de minimiser les variations de l'outil et de l'utilisateur tout en optimisant la productivité. Le logiciel de contrôle des processus inclus dans le système LAM RESEARCH 490 est conçu pour aider les utilisateurs à optimiser les performances de gravure, de profil et de linéarité, tout en leur permettant de visualiser les journaux en temps réel et de processus. L'unité 490 est également équipée d'une machine avancée de surveillance et de contrôle de la sécurité (SMSC) qui réduit considérablement les risques d'accidents ou de mauvais traitement des plaquettes en permettant à l'opérateur d'intervenir et de prendre des mesures correctives au besoin. De plus, l'outil fournit un module de maintenance intégré qui aide les utilisateurs à suivre et gérer les dossiers de maintenance et à programmer les intervalles de maintenance, ce qui aide à s'assurer que l'actif est bien entretenu et fonctionne sans problème. Pour profiter des meilleures performances de gravure, LAM RESEARCH 490 comprend un générateur RF haut de gamme et une large gamme d'options plasma. Le générateur RF avancé permet une flexibilité et un contrôle maximum sur le processus de gravure en fournissant une large gamme de niveaux de puissance RF. En outre, le modèle dispose de plusieurs options avancées, telles que la gravure multi-plaquettes et la gravure à très faible écart pour affiner les paramètres du processus afin d'assurer au mieux l'uniformité du processus. En résumé, 490 équipements illustrent les capacités de gravure et d'ashing avancées avec son excellente uniformité et sa superbe sécurité des produits, ainsi qu'une large gamme de capacités puissantes. En tant que tel, le système est un choix parfait pour les applications semi-conductrices avec des exigences de gravure exigeantes.