Occasion LAM RESEARCH 490 #9262879 à vendre en France

LAM RESEARCH 490 est un graveur/asher à vide moyen conçu pour un large éventail de procédés de dépôt et de gravure dans l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Le graveur/asher utilise plusieurs sources de gaz à haute pression et basse température qui permettent un contrôle précis des paramètres du procédé. 490 dispose d'un débit précis de gaz, d'un contrôle précis de la pression et de la température et d'un contrôle précis de la puissance de la source. LAM RESEARCH 490 peut être utilisé avec divers gaz, dont le FEP (Fluorinated Ethylène Propylène), le CF4 (Carbon Tetrafluoride), le CHF3 (Chlorotrifluorométhane), l'Ar (Argon) et d'autres gaz. La 490 comporte un équipement à vide à deux étages qui comprend une chambre de pompe à vide et une chambre à faisceau ionique à 2 faisceaux. La chambre de pompe à vide a un niveau à vide ultime de 10 mt et est équipée avec une pompe MechanicalTurbo-moléculaire pour soutenir ce niveau à vide. La chambre à faisceau ionique à deux faisceaux contient une pompe de diffusion qui assure une répartition stable et uniforme des ions à l'échantillon. La chambre à faisceau d'ions contient également une source d'ions à haute énergie, capable de générer des ions allant jusqu'à 50keV. LAM RESEARCH 490 dispose également d'un système de gestion du gaz (GMS) conçu sur mesure, qui permet un contrôle précis de la composition du gaz et du débit dans la chambre de traitement sous vide. Le GMS permet un large éventail de paramètres de processus, de la basse pression à la pression atmosphérique. Le GMS comprend également une caractéristique unique, appelée Power Control Interface (PCI), qui permet de contrôler directement la puissance de la source, indépendamment du débit de gaz. 490 est destiné à être utilisé avec divers substrats, dont le silicium, le quartz et la céramique. Il est également capable d'accueillir une variété de tailles et de formes d'échantillons. LAM RESEARCH 490 offre une large gamme de débits de processus disponibles, de faibles à élevés. En conclusion, 490 est un graveur/asher à vide moyen qui fournit un contrôle précis des paramètres du processus avec son unité de vide à deux étages, une machine de gestion du gaz conçue sur mesure et une interface de contrôle de puissance. Il est capable de traiter une large gamme de substrats et offre une large gamme de débits de processus disponibles.