Occasion LAM RESEARCH 490 #9268075 à vendre en France

LAM RESEARCH 490 est un équipement de gravure/aspérité à plasma, conçu pour la production et la recherche. Il offre un débit élevé avec un contrôle de processus avancé et une uniformité de chambre serrée. Le système est capable de graver/asper haute performance des matériaux durs et doux, tels que les oxydes et les nitrures. La gravure et l'asphyxie sont effectuées avec une grande précision. La chambre a une homogénéité serrée, ce qui la rend robuste et facile à utiliser. L'unité est également équipée de diagnostics plasma et d'une machine de contrôle de processus très sophistiquée pour la gravure de précision et l'asphyxie. Le réacteur est équipé d'une source de plasma et d'un réseau spécialisé d'électrodes adaptées à la gravure ou à l'asphyxie de différents matériaux. Le plasma est généré par un mélange de gaz, tels que le chlore, l'hexafluorure de soufre et l'oxygène, qui sont injectés dans l'enceinte. La chambre est habituellement remplie du gaz de procédé désiré, pompée dans et hors pour maintenir la pression et la température optimales. Divers paramètres du processus peuvent être modifiés afin d'optimiser le processus. La pression, la température et la polarisation continue de la chambre peuvent être ajustées pour obtenir les vitesses de gravure et d'asphyxie souhaitées. Les paramètres peuvent également être ajustés pour affiner la qualité de gravure et le profil du produit. La chambre peut également être prédéfinie aux réglages souhaités permettant un contrôle complet du processus pendant le cycle de production. L'outil est également équipé de dispositifs de sécurité, tels que des détecteurs de gaz et des régulateurs de pression. Les détecteurs de gaz permettent l'arrêt de l'actif en cas de détection de gaz dangereux alors que les régulateurs de pression assurent le maintien de la pression et de la température de la chambre dans la plage nécessaire. 490 est un modèle de gravure et asper avancé, offrant une gravure/aspering fiable et précise pour les matériaux durs et doux. Sa combinaison d'un contrôle avancé des procédés et d'une uniformité étroite des chambres en font un outil efficace tant pour la production que pour la recherche.