Occasion LAM RESEARCH 490 #9398854 à vendre en France

LAM RESEARCH 490 est une solution haute performance de gravure/cendres conçue pour répondre aux besoins de l'industrie manufacturière. L'unité se compose d'une chambre de traitement, d'un cadre de support, d'une alimentation électrique, d'un verrouillage de sécurité et d'une vanne d'isolement. La chambre de traitement est équipée d'un équipement de gestion du gaz et d'un système de livraison chimique, permettant un contrôle précis d'un large éventail de conditions de processus. Sa technologie de plate-forme utilise les derniers substrats emballés en céramique et une gamme de systèmes de gravure et de dépôt pour des matériaux tels que le silicium, l'aluminium, le cuivre, etc. La chambre de traitement contient une gamme de paramètres réglables pour permettre la personnalisation du profil de gravure et de dépôt pour une performance optimale. Par exemple, la température peut être contrôlée de 20 ° C à 1000 ° C et la température du substrat de 300 ° C à 2000 ° C La gamme de pression est de 1 mbar à 500 mbar, tandis que le type de gaz de procédé peut être choisi, soit He, Ar ou O2. Le débit de gaz peut être réglé en fonction des besoins du procédé. Un manomètre de pression et de température est fourni, avec la capacité de lire les conditions du processus en temps réel. L'unité est également équipée de plusieurs caractéristiques pour améliorer la sécurité, comme une clôture montée à l'avant, un interrupteur de doublure à distance et une unité de commande de décharge électrostatique (ESD). Il assure le respect des règles de sécurité en vigueur en assurant la protection du personnel et en prévenant les dangers. En outre, 490 est conçu avec un faible budget thermique pour réduire le risque de dégradation des échantillons. LAM RESEARCH 490 dispose également d'un port tri-automatisé permettant un entretien et une réparation faciles de ses composants. Cette fonctionnalité en fait une solution idéale pour une installation rapide et un fonctionnement sans faille. Dans l'ensemble, 490 est une machine de traitement de plaquettes multi-applications qui est capable de réaliser divers processus de gravure et de dépôt sur différents substrats, ce qui en fait un atout essentiel pour les besoins d'ablation et de structuration de l'industrie des semi-conducteurs et de la fabrication. Associée à ses performances fiables et économes en énergie, elle sert de solution efficace et rentable pour les besoins de gravure et de dépôt de l'industrie.