Occasion LAM RESEARCH 490 #9399666 à vendre en France
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ID: 9399666
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1995
Etcher, 6"
1995 vintage.
LAM RESEARCH 490 est un équipement avancé de graveur/asher conçu pour une production à haut volume avec des temps de cycle rapides et un débit accru. Le système est idéal pour une gravure ou un cendrage de haute précision. Son moteur à transmission directe à haute vitesse fournit une excellente répétabilité, débit et rendement. 490 est une unité extrêmement rapide et fiable configurée pour minimiser les temps d'arrêt et maximiser les performances. LAM RESEARCH 490 utilise la technologie de gravure/cendrage par plasma, utilisant une chambre à plasma et des masques de quartz ou de céramique gravure/cendres, ce qui est idéal pour des applications comme la gravure DRAM ILD ou la gravure MEMS de type I. Sa conception de cadre ouvert assure un accès optimisé à l'outil, avec un canal en aluminium intégré pour un échange rapide et flexible de plateaux outil-wafer. La 490 est conçue pour une production à haut volume et ses fonctions avancées de manutention du substrat telles que la charge/déchargement en sous-chambre, le bras de transfert du substrat et le masquage automatique en font une solution idéale pour augmenter la productivité opérationnelle. LAM RESEARCH 490 dispose également d'une machine avancée de surveillance des processus, d'un puissant outil sous vide et d'un algorithme automatisé de réglage du plasma qui permet d'assurer une qualité constante des gravures/cendres. En outre, l'atout est conçu pour une répétabilité maximale, avec un échange rapide de panneaux de plateaux et une large gamme de tailles et de formes de substrat. Pour une gravure uniforme, de haute précision ou la cueillette des substrats les plus difficiles, 490 graveurs/asher est le choix idéal. Avec des paramètres plasmatiques constants, une uniformité améliorée et un débit accru, LAM RESEARCH 490 est un choix idéal pour les travaux de gravure ou de cendres difficiles.
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