Occasion LAM RESEARCH 496B #9268074 à vendre en France
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LAM RESEARCH 496B est un graveur/asher utilisé pour la gravure et la cueillette de plaquettes monocristallines et polycristallines. Cette plate-forme est utilisée pour graver à travers différentes couches de film, telles que photorésist, pour la définition de motifs et pour créer certaines structures à l'intérieur de couches d'oxyde. Ce type de graveur/asher utilise des ondes électromagnétiques pour exciter des molécules gazeuses à l'intérieur de la chambre du réacteur, provoquant une dégradation moléculaire et une réaction entraînant le processus de gravure ou de cueillette. 496B a une chambre en acier inoxydable qui est conçu pour être résistant à la corrosion dans le temps. La chambre est alimentée par une source d'alimentation en courant continu. Cet etcher/asher a été conçu pour offrir des résultats précis, fiables et reproductibles. Les plaquettes sont exposées à une gamme de produits chimiques à base de fluor à l'intérieur de la chambre, ce qui donne lieu à un processus de gravure hautement sélectionnable et qui peut être adapté précisément aux besoins du substrat particulier en cours de traitement. Il dispose également d'un certain nombre de dispositifs de sécurité, dont un équipement intégré de surveillance du gaz et un système de verrouillage de sécurité. LAM RESEARCH 496B est capable de graver des plaquettes jusqu'à 12 pouces de diamètre et peut manipuler jusqu'à huit plaquettes par lot. Il dispose d'une unité de transfert automatique des plaquettes qui permet aux plaquettes d'être rapidement déplacées de la cassette à l'etcher/asher et à nouveau. La machine dispose d'un ordinateur de contrôle avec un logiciel intuitif qui permet de personnaliser les paramètres de gravure/ashing. Ce graveur/asher a été conçu pour offrir un maximum de flexibilité et de reproductibilité avec un minimum de déchets et de temps d'arrêt. L'outil a fait l'objet de tests et de validations approfondis pour garantir l'exactitude et la reproductibilité du processus ainsi que des normes de sécurité. 496B fournit une précision et des performances de qualité laboratoire pour garantir un rendement élevé et un faible coût de possession.
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