Occasion LAM RESEARCH 571-065780-702 #293668180 à vendre en France

LAM RESEARCH 571-065780-702 est un graveur/asher multi-zones de haute performance conçu pour la gravure non volatile et/ou le traitement propre. Cet équipement comprend plusieurs capacités de manutention monatomique et pneumatique des plaquettes, en plus de deux modules indépendants, intégrés et à vide élevé. Les modules comprennent à la fois la gravure et la capacité asher, permettant des changements rapides entre les opérations de gravure et asher si nécessaire. Les modules de processus indépendants offrent une flexibilité et un débit amélioré, chaque module pouvant contenir jusqu'à deux plaquettes, ce qui permet une gravure prolongée et des temps de nettoyage. Chaque module de procédé comprend une chambre de verrouillage de charge, une chambre de transfert de substrat, une chambre de cryo-gravure/dépôt et une chambre à plasma à haute énergie. La chambre de transfert est configurée pour équiper une plaquette de 300mm sur un support standard. Le support peut facilement être adapté pour d'autres tailles de plaquettes. Le moteur comprend plusieurs collecteurs de distribution de gaz pour améliorer l'uniformité et le contrôle des processus, et il peut supporter jusqu'à quatre sources de gaz de protection pour améliorer la flexibilité des processus. Le graveur/asher est équipé de pompes vaccinales ultra-hautes pour faciliter des performances de vide élevées, ce qui est nécessaire pour produire des gravures de haute qualité. La fenêtre de processus peut être réglée via le système de contrôle de processus, offrant un meilleur contrôle de processus et l'uniformité. L'unité de transfert de plaquettes de haute précision assure un mouvement lisse et précis, comme attendu des systèmes LAM RESEARCH. Le positionneur réglable de plaquettes offre un haut degré de répétabilité et de précision de placement de plaquettes. Globalement, 571-065780-702 est un graveur/asher multi-zones très avancé conçu pour un large éventail de besoins de gravure et de traitement. Il améliore l'uniformité, la fiabilité et le débit des processus, ainsi que les logiciels avancés de contrôle des processus. La machine de transfert de plaquettes de précision garantit une excellente répétabilité et précision, tandis que le large éventail de canaux de distribution de gaz assure un contrôle précis du processus. C'est un excellent choix pour réaliser des gravures de haute qualité et est fortement recommandé pour les applications industrielles.