Occasion LAM RESEARCH 590 #293595902 à vendre en France
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LAM RESEARCH 590 etcher/asher est un équipement de pointe couramment utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. C'est une machine de gravure chimique humide, capable de graver des caractéristiques de 1-2000 nanomètres de largeur. Le procédé de gravure est utilisé pour retirer sélectivement du matériau d'un substrat, permettant la formation précise de caractéristiques structurées sur de tels substrats. 590 est équipé d'une large gamme de caractéristiques pour soutenir la gravure et la cendre. Il dispose d'une chambre de gravure à sec optimisée pour les faibles taux de gravure, et la technologie de gravure double laser-micro-ondes plasma permettant des taux de gravure plus élevés et un contrôle de la rugosité ligne-bord de film supérieur. Il comprend également un frontal hautement configurable et un module RF-bias intégré. Pour garantir des gravures de haute qualité, il dispose d'un contrôle automatique du plasma côté pression et d'un équipement de contrôle breveté pour optimiser les temps de gravure. La chambre de gravure humide en acier inoxydable dispose d'un module d'électro-dépôt intégré pour les travaux de gravure des métaux qui maximise la sélectivité. En outre, la machine est capable de supporter une gamme de gaz de procédé et de pression pour l'environnement de gravure approprié pour divers matériaux. Il dispose également du générateur RF refroidi par air et d'un panneau de mélange de gaz pour un débit précis de gaz. LAM RESEARCH 590 offre des capacités avancées de contrôle et de surveillance des processus avec rétroaction en temps réel. Il dispose d'un puissant système de contrôle informatique de haut niveau qui permet aux utilisateurs de contrôler et de surveiller tous les processus de gravure. L'unité intégrée comprend des communications rapides sécurisées ainsi que des systèmes de sécurité avancés comprenant une machine d'essai sous vide, des dispositifs de sécurité et un outil de distribution de gaz gravé. 590 est une excellente machine pour la gravure et le cendrage des plaquettes. Il offre des résultats supérieurs avec un temps de cycle de gravure rapide, ce qui en fait un atout précieux dans la fabrication de semi-conducteurs. Ses caractéristiques avancées, son design robuste et sa facilité d'utilisation font de LAM RESEARCH 590 un excellent choix pour la gravure et l'ashing.
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