Occasion LAM RESEARCH 590 #293604302 à vendre en France

LAM RESEARCH 590 Etcher/Asher est un équipement de gravure à double cassette offrant une haute performance et flexibilité pour les processus de gravure et de cueillette dans un large éventail d'applications. 590 a été conçu pour être une solution efficace et rentable pour les organisations qui ont besoin de gravure et de cendrage à haut débit dans des environnements secs et humides. Ce système est construit avec une interface logicielle intuitive et peut être facilement intégré avec des systèmes automatisés de manipulation des plaquettes pour réduire le risque d'erreur humaine. Il est polyvalent, modulaire et personnalisable dans les domaines du contrôle de la température, des systèmes de gaz et d'aération, de la manutention des wafers et des opérations et diagnostics de fin d'exploitation. LAM RESEARCH 590 est une unité de gravure et de cendrage de grande capacité optimisée avec une machine à trois zones qui comprend une zone de gravure, une zone propre et une zone de cuisson. La zone de gravure fournit un processus de gravure rapide à travers un outil de serrure avec jusqu'à trois cassettes, permettant de graver simultanément jusqu'à 24 plaquettes en un seul cycle de gravure. La zone propre est équipée pour l'oxydation des gaz afin d'éloigner le matériau de la surface d'une plaquette à re-graver. Enfin, la zone de cuisson offre un atout de cuisson facile à utiliser avec une homogénéité de température au four de ± 3 ° C 590 consiste également en un nouveau modèle innovant de gestion du gaz pour contrôler et surveiller le processus de gravure des flux et de la pression des gaz ambiants. Cela permet aux utilisateurs de maintenir une limite de pression positive au-dessus de la plaquette à l'intérieur de l'équipement afin d'améliorer l'uniformité du processus tout en permettant le recyclage du graveur et de l'échappement du procédé. Enfin, LAM RESEARCH 590 fournit des opérations de cendres sèches et humides. Cela permet aux utilisateurs d'obtenir une reproductibilité parfaite dans leurs expériences, de réaliser des opérations de gravure rapides et efficaces ou de sélectionner tout type de procédé de gravure sèche ou humide. Cela facilite l'utilisation du 590 pour une variété d'opérations de gravure et d'ashing, permettant aux utilisateurs de faire des essais répétés, d'ajuster rapidement les paramètres et d'optimiser les résultats des processus.