Occasion LAM RESEARCH 590 #9145838 à vendre en France

LAM RESEARCH 590 etcher/asher est un équipement de gravure plasma et/ou ashing automatisé et performant. Il est conçu pour répondre aux exigences exigeantes des fabricants de dispositifs semi-conducteurs les plus avancés et peut soutenir à la fois la R&D et les applications de production. 590 utilise la technologie de pointe d'une manière rentable pour offrir des performances supérieures et une flexibilité de processus. En termes de matériel, LAM RESEARCH 590 se compose de chambres à vide équipées d'électrodes supérieures et inférieures, d'alimentations en courant continu et RF, et d'une gamme d'options de contrôle et de livraison des gaz de procédé. Le système dispose de deux chambres de traitement distinctes : une chambre de graveur de plasma dédiée et une chambre de couchage de plasma dédiée. L'etcher est équipé d'un générateur de puissance RF haut de gamme et d'un ensemble d'électrodes propriétaire, tandis que l'asher comporte une source de puissance continue directionnelle. Les chambres sont couplées avec une unité de pompage à paroi chaude, ce qui augmente le débit de processus et réduit la maintenance globale. En outre, la machine dispose d'une gamme d'options de contrôle et de livraison de gaz de procédé, y compris un outil d'injection chronométrée pour des performances optimisées. En ce qui concerne le processus de gravure, le 590 utilise un actif de source d'énergie RF à base de mercure et a conçu les rejets pour produire un profil de gravure très uniforme avec un contrôle de profondeur précis et répétable. LAM RESEARCH 590 permet un contrôle précis de la vitesse de gravure et des profils sur l'ensemble de la plaquette en couplant la source d'énergie avec un modèle avancé de contrôle des processus en boucle fermée. Cette combinaison unique de matériel et de contrôle des processus permet un débit plus élevé, une plus grande stabilité des processus et des taux de gravure plus élevés avec des températures de travail toujours bien inférieures aux températures cibles. 590 dispose également d'un équipement avancé de récupération de gravure avec maintenance et validation automatisées. Ce système permet une récupération rapide de toute anomalie de processus, avec une gamme complète d'équipements et de capacités de diagnostic de processus. De plus, l'unité comprend une véritable machine de contrôle de processus en boucle fermée qui permet un diagnostic de processus rapide et précis. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH 590 est un graveur/asher à la fine pointe de la technologie qui offre une flexibilité de processus et de haute performance d'une manière rentable. Le matériel et l'outil de contrôle des processus assurent une excellente uniformité des gravures et un contrôle répétable de la profondeur, tandis que le matériel de recouvrement des gravures permet un recouvrement rapide et précis en cas d'anomalies de processus. 590 est un excellent choix pour tout laboratoire ou environnement de production cherchant à obtenir un maximum de performance de procédé et d'efficacité.