Occasion LAM RESEARCH 590 #9160079 à vendre en France

LAM RESEARCH 590 est un équipement graveur-cendrier principalement utilisé pour les procédés de gravure et de cendrage dans la production de semi-conducteurs à haut volume. Ce système est composé d'une source de plasma, d'un panneau de commande et d'une chambre. La source de plasma à micro-ondes actionnée de 10 kW tient compte de la gravure à l'eau forte précise et conséquente ou d'ashing de matériel jusqu'à une épaisseur de 25 µm, avec une gamme de pressions d'exploitation optionable et de processus. Cette unité est conçue de façon unique avec une atmosphère cryogénique et turbo-moléculaire pompée, ainsi qu'un gestionnaire de plaquettes 8 pistes. Le gestionnaire de plaquettes à 8 voies peut manipuler 200 plaquettes jusqu'à 8 pouces de diamètre et 15 poids jusqu'à 200 mm de diamètre, permettant un chargement et un déchargement efficaces et rentables des substrats. Le panneau de commande fournit un contrôle précis et répétable de la profondeur de gravure et de la profondeur de cale avec un contrôleur de débit de masse numérique (MFC). Le contrôleur est conçu pour maintenir une pression, une température et un débit stables pour la gravure et la cueillette. La chambre est construite avec une machine de blindage avancée qui réduit les interférences entre plaquettes et plasma et optimise l'uniformité gravure/cendres. La chambre fournit également une atmosphère inerte lors des processus de gravure ou de cueillette, préservant l'intégrité des matériaux du substrat en contrôlant efficacement l'environnement. 590 outil graveur/cendrier est un outil avancé de traitement des semi-conducteurs avec la capacité de graver avec précision, cendres, et nettoyer à la fois à travers de nombreuses couches, permettant une production plus rapide et plus rentable. Cet atout est conçu pour une utilisation efficace dans des conditions difficiles, avec six réglages de pression et de température réglables pour un contrôle optimal du processus. Ce modèle est également optimisé pour le chargement et le déchargement des plaquettes, avec le gestionnaire de plaquettes à 8 voies qui peut gérer 200 plaquettes jusqu'à 15 poids et 8 pouces de diamètre. L'équipement LAM RESEARCH 590 etcher/asher est un outil de production de semi-conducteurs efficace et rentable.