Occasion LAM RESEARCH 590 #9226292 à vendre en France

LAM RESEARCH 590 est un équipement de graveur/asher conçu pour la fixation et la sélection d'applications nécessitant des capacités de gravure et d'ashing. Ce système de gravure et de cendres fournit la précision et la répétabilité du traitement par lots avec la flexibilité du traitement par une seule plaquette. Il présente un débit de gaz uniforme, un volume de chambre et une température basse dans toute la chambre, ce qui améliore la précision de la vitesse de dépôt et les rendements des produits. L'unité offre également une machine de livraison de gaz avancée qui permet une consommation de gaz minimale par procédé. Cet outil offre également un générateur RF haute performance avec une programmabilité complète pour des processus rapides et fiables. Sa chambre de gravure renforcée Source/Drain hardmask est optimisée pour la gravure simple plaquette et fournit une gravure ultra haute vitesse avec une pression ICP faible. Avec la source pour drainer la chambre de gravure, l'actif offre une large gamme de températures de processus et de niveaux de puissance pour répondre à diverses exigences. En outre, 590 peuvent être configurés avec des chambres supplémentaires et différentes capacités de processus de gravure telles que le nettoyage des pulvérisateurs, la gravure plasma et la gravure sous-surface. Ce modèle vous donne la flexibilité de personnaliser le processus en fonction de vos besoins. De plus, LAM RESEARCH 590 vous aide à réduire votre coût de propriété et à rendre le processus beaucoup plus fluide à des coûts opérationnels moindres. Ses options de contrôle avancées et son interface intuitive GUI offrent à l'utilisateur une solution complète pour ses besoins en matière de gravure. Au total, 590 est un équipement de gravure et de cendres leader dans l'industrie qui fournit la précision ultime et le contrôle des processus.