Occasion LAM RESEARCH 590 #9232890 à vendre en France

LAM RESEARCH 590
Fabricant
LAM RESEARCH
Modèle
590
ID: 9232890
Plasma oxide etcher.
LAM RESEARCH 590 est un graveur/asher de haute performance conçu pour la gravure de précision et le cendrage de divers matériaux, notamment des plaquettes, des substrats, des PCB, des métaux et des plastiques. 590 est un équipement entièrement automatisé avec un monochromateur haute résolution et un système de contrôle de processus avancé. LAM RESEARCH 590 est conçu pour un débit maximum, avec une configuration de pré-programmation multi-niveaux facile à utiliser. 590 utilise un sous-système intégré à faible empreinte avec une interface utilisateur simplifiée pour la production avec une intervention minimale de l'opérateur et des résultats fiables. LAM RESEARCH 590 est une plate-forme de traitement monobloc capable d'accueillir une large gamme de tailles de substrat. Il est équipé de deux sources de plasma, de deux étages de vide et d'un capteur multipoint et d'un plateau d'échantillons avec instrumentation de température intégrée. En outre, 590 est équipé d'une unité auxiliaire de distribution de gaz et offre un choix de gaz de procédé. La machine de contrôle de processus avancée LAM LAM RESEARCH 590 assure une gravure et une cendre de haute précision sur les surfaces cibles. Avec ses réglages PID intégrés, 590 est optimisé pour maintenir un contrôle serré des paramètres de gravure et de cendres, y compris la possibilité d'établir des épaisseurs de couche avec une tolérance de +/- 0,001 mm. De plus, LAM RESEARCH 590 est capable de fonctionner à faible cycle (jusqu'à 15000 wafers/heure) et des processus par lots de haute uniformité. Le LAM 590 est conçu pour améliorer la fiabilité et l'efficacité. Il dispose d'un programme de maintenance 24/7 et est capable de détecter les défauts rapidement et de fournir un diagnostic pour un dépannage facile. De plus, LAM RESEARCH 590 offre des capacités d'archivage de données à long terme, permettant aux utilisateurs de vérifier l'état de leurs processus au fil du temps. 590 est conçu pour offrir un maximum de productivité, de précision et d'efficacité opérationnelle. Avec son contrôle de processus avancé et son outil automatisé, il est bien adapté aux exigences de production nécessitant une gravure et un cendrage précis. LAM RESEARCH 590 est une solution fiable pour les projets personnalisés et la production par lots à grande échelle de dispositifs microélectroniques, opto-électroniques, de stockage de données et de semi-conducteurs.
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