Occasion LAM RESEARCH 590 #9275402 à vendre en France

LAM RESEARCH 590 est un équipement de gravure avancé qui est idéal pour les applications diélectriques, métalliques et oxydes. Ce système est conçu pour fournir aux utilisateurs un processus de gravure fiable et efficace qui convient à la fois pour la production par lots et en ligne. Avec des performances de procédé supérieures, 590 peut être utilisé pour graver une grande variété de matériaux, y compris le verre, le silicium et les métaux. LAM RESEARCH 590 dispose d'une chambre de processus robuste qui est conçue pour gérer une gamme de pressions et de températures de processus. Cette unité est livrée avec une grande configuration intégrée de plaque source qui est idéale pour le contrôle de précision des taux de gravure. Les algorithmes de processus intégrés et les capacités d'optimisation des processus permettent aux utilisateurs d'ajuster les paramètres de processus en temps réel. La machine comprend une interface utilisateur avancée qui peut être utilisée pour configurer des recettes, saisir des paramètres de processus et suivre les progrès de gravure. La 590 est équipée d'un générateur HF RF de haute puissance capable de délivrer jusqu'à 350W de puissance pour graver les matériaux cibles. Un outil optique à double vue unique est utilisé pour surveiller la vitesse de gravure à l'interface du matériau cible, tandis qu'un actif de débit de gaz fournit un contrôle précis de la livraison de gaz et du flux de processus. Ce modèle est conçu pour offrir le plus haut niveau de répétabilité des processus avec un contrôle de précision intégré de la vitesse de gravure et de dépôt. LAM RESEARCH 590 offre une uniformité accrue pour les dépôts diélectriques et métalliques, ce qui aide à fournir des dispositifs sans défaut. Cet équipement dispose d'un verrouillage de charge à basse température qui minimise la génération de particules et capitalise sur le débit du processus. Avec ses fonctions avancées de contrôle et d'optimisation des procédés, 590 est un système idéal pour la gravure et le dépôt de matériaux diélectriques, métalliques et oxydes.