Occasion LAM RESEARCH 594 #9308907 à vendre en France

LAM RESEARCH 594 etcher/asher est un équipement de production à grande échelle utilisé dans le traitement des semi-conducteurs pour la gravure des tranchées peu profondes, des fosses de contact ou des vias. Le système a une conception robuste et ouverte qui assure un entretien moins fréquent et une durée de vie plus longue. L'outil se compose de deux modules, une chambre de gravure en vrac et un module de cueillette. Il dispose également d'une architecture matérielle et logicielle personnalisable. La source d'ions en vrac dans le module de gravure fournit un faisceau d'ions monospécifique à haute énergie avec un taux de répétition d'impulsions allant jusqu'à 40 kHz et un taux d'utilisation minimum de 10 %. Avec cette unité, les utilisateurs peuvent graver des tranchées peu profondes, des contacts et des vias à travers des couches de masquage standard et avancé, jusqu'à une résolution de moins de 20nm. Le processus plasma manuel pour le module de gravure est livré avec la technologie Smart Ion Source Control (SmartISC), qui permet à l'utilisateur d'ajuster les caractéristiques du faisceau d'ions en fonction du profil de gravure. Le module ashing de 594 fournit une sélectivité allant jusqu'à 20:1 entre le silicium et la résine photosensible. Il utilise une source inductive linéaire verticale de faible puissance avec plasma basse pression pour nettoyer rapidement le fond des tranchées profondes et des tranchées avec des rapports d'aspect serrés. La source verticale assure également la passivation latérale des motifs gravés dans les fosses de contact et les tranchées. De plus, LAM RESEARCH 594 offre une excellente répétabilité des processus grâce à ses fonctionnalités d'automatisation avancées. La tête de douche automatique à assistance thermique avec un angle d'incidence variable est conçue pour assurer la reproductibilité des processus entre les lots, et elle peut également être utilisée pour le profilage de gravure des fosses de contact. En conséquence, 594 est un outil exceptionnel pour les substrats profonds et la gravure à haut rapport d'aspect, et il est devenu un choix populaire parmi les concepteurs de puces et les fabricants de semi-conducteurs. Avec sa machine innovante, LAM RESEARCH 594 est capable de fournir des opérations de gravure performantes et rentables.