Occasion LAM RESEARCH 690 #9151419 à vendre en France

LAM RESEARCH 690 est un système multi-chambres personnalisé avec des options de configuration variées, fournissant des capacités avancées pour les besoins de gravure et d'ashing. Il est conçu pour graver avec précision et propreté les substrats/cendres dans un processus multi-stations. 690 se compose d'une chambre de serrure, d'une chambre de gravure principale et d'une chambre de produit à hauteur réglable. LAM RESEARCH 690 se compose d'une configuration à deux portes avec deux chambres indépendantes, offrant une flexibilité pour le chargement et le déchargement de substrats délicats. La chambre de serrure est construite selon des spécifications exigeantes, afin de minimiser les outgas et d'améliorer la précision du processus global du système. La chambre de gravure principale de la 690 est conçue avec des paramètres réglables tels que la pression, la température et le débit de gaz. Cette chambre fournit l'environnement optimal pour les processus de gravure de transistors et de dépôt de matériaux avancés. LAM RESEARCH 690 dispose d'une double source de distribution de gaz, qui permet un contrôle précis de deux gaz en même temps, contribuant à assurer un processus uniforme sur plusieurs substrats. En outre, 690 dispose d'un système breveté de contrôle de consigne de plaquettes, permettant des réglages précis et lisses des paramètres de gravure en cas de changement de processus. La chambre de produit à hauteur réglable de LAM RESEARCH 690 garantit que les opérations post-gravure/cendres peuvent monter et descendre au besoin pour des substrats variés. Cette chambre contient également une plaque d'étage chaud automatisée, ce qui signifie que le substrat cible reste dans la même position à l'intérieur de la chambre qu'il est transféré de la chambre de gravure principale. La plaque automatisée comporte également des options de vide qui offrent une étanchéité efficace et étanche sur le substrat. Dans l'ensemble, 690 est un puissant graveur/asher construit avec des spécifications précises et des paramètres réglables. Sa chambre de serrure de charge, sa chambre de gravure principale et sa chambre de produit à hauteur réglable constituent la plate-forme ultime pour de multiples substrats, offrant des résultats de haute qualité en permanence et dans les délais. Un outil idéal pour ceux qui recherchent un contrôle avancé et la flexibilité pour leurs besoins de gravure et d'ashing.