Occasion LAM RESEARCH 790 #9088929 à vendre en France

Fabricant
LAM RESEARCH
Modèle
790
ID: 9088929
Taille de la plaquette: 4 - 6"
Etcher, 4" - 6" Gases: N2 O2 SF6 CHF3 Argon Helium.
LAM RESEARCH 790 est un équipement de graveur/asher conçu pour le traitement des plaquettes de tous types. Il est adapté pour produire des résultats de haute qualité, précis et reproductibles sur tous types de plaquettes semi-conductrices et de films diélectriques. La 790 est équipée de technologies de pointe, y compris de multiples sources d'énergie radio-fréquence (RF) pour une gravure précise, ainsi que de multiples chambres à vide, permettant de traiter chaque plaquette avec une précision constante à haut débit. Le système est constitué d'une chambre d'environnement qui intègre la chambre de traitement, les postes de vide et de chargement/déchargement. Il est également livré avec une variété d'outils optionnels et un contrôleur intégré pour adapter l'unité à des applications spécifiques, y compris le traitement diélectrique bas k, la nitridation, la planarisation chimique/mécanique, le strippage d'oxyde et la gravure sélective. La source d'énergie RF fournit les performances de gravure nécessaires pour un large éventail d'applications telles que la gravure d'oxyde et de silicium polycristallin, la nitridation, l'élimination de la résine photosensible et d'autres contaminants, et l'endommagement du recuit des zones de diffusion. La source d'énergie est conçue pour fournir une grande précision et stabilité, permettant un contrôle précis de la profondeur de gravure et de la vitesse de gravure des processus. Ceci est encore facilité par la capacité de la machine à orienter la plaquette en la faisant tourner lors du traitement. L'outil sous vide utilise une technologie de pointe pour fournir un débit élevé de gaz basse pression atteignant le vide profond. Cela garantit une gravure plasma uniforme et peu coûteuse avec des résultats de processus reproductibles. Les portails de verrouillage de charge et les modules chargeur/déchargeur assurent une grande vitesse, le transport des plaquettes tout en maintenant un environnement propre et en permettant une productivité optimale. L'atout LAM RESEARCH 790 est ultra-efficace, avec une architecture bi-bus avec des alimentations linéaires de grande puissance pour une sortie maximale. Il est également livré avec une interface utilisateur intuitive et est conforme aux normes de l'industrie, ce qui le rend facile à utiliser et à entretenir. Très fiable et efficace, 790 graveur/asher est une solution fiable et très économique pour la gravure et l'ashing précis et répétable sur tous les types de plaquettes semi-conductrices et films diélectriques. Sa source d'énergie RF avancée et son modèle de vide à haut débit peuvent fournir des résultats de processus fiables et reproductibles avec une intervention minimale de l'opérateur, garantissant l'intégrité du processus et un débit optimal.
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