Occasion LAM RESEARCH 839-019080-611/A #293658874 à vendre en France

ID: 293658874
Electrostatic Chuck (ESC).
LAM RESEARCH 839-019080-611/A est un graveur/asher avancé qui permet d'éliminer de façon précise et cohérente les gravures et autres matériaux des surfaces afin d'atteindre des exigences d'ultra-précision pour les emballages semi-conducteurs et les industries d'interconnexion haute densité. Cet appareil de refroidissement à double empilement et à double empilement très avancé permet d'assurer des températures de traitement uniformes, avec des motifs de rupture très uniformes, des rendements supérieurs, des rapports d'aspect élevés et une uniformité améliorée. Le système de refroidissement à double pile utilise une conception de flux inverse pour garantir des performances optimales et des résultats reproductibles. L'unité comprend également une technologie avancée de dégazage et de gravure pour simplifier le processus d'ashing des matériaux tout en maintenant un faible taux de particules. LAM RESEARCH 839-019080-611/A dispose de capacités de traitement de précision de gravure et de cendres à haute vitesse et adaptatives avec une machine intégrée de distribution des gaz et d'échappement qui assure un cycle de traitement rapide, une sous-cotation minimale des gravures et des taux de gravure/cendres uniformes. Avec une large gamme de produits chimiques de gravure supportés, il fournit des processus supérieurs pour des caractéristiques plus petites et des caractéristiques de ratio d'aspect élevé, ce qui nécessite des processus qui fonctionnent dans les 5 nanomètres des bords de caractéristiques. LAM RESEARCH 839-019080-611/A comprend également un cycle de recuit améliorant les caractéristiques dans le processus de gravure afin de réduire la mèche et la réduction des caractéristiques. Un contrôleur réseau avancé permet un contrôle dynamique du processus de gravure pour un contrôle serré du nombre de ruissellements, du taux de gravure, du taux de cendres, de la température et des techniques d'analyse pour surveiller les conditions de vol. La série 839 comprend également des protocoles de sécurité dynamiques pour assurer un fonctionnement continu en toute sécurité. Il dispose d'un outil avancé de gravure ionique réactive (RIE) qui offre un contrôle serré des densités plasmatiques, de la puissance et de la température du substrat pour une gravure précise des matériaux fabriqués. Il dispose également d'un cycle de vide-pression automatisé qui maintient la chambre de réaction à de nouveaux niveaux de propreté. L'architecture ouverte permet une intégration facile dans les lignes de fabrication existantes, et l'actif est facilement valorisable pour l'expansion et l'intégration futures. L'interface utilisateur offre une navigation facile et un contrôle complet sur le processus de gravure et de cendres. LAM RESEARCH 839-019080-611/A offre la vitesse et la précision nécessaires pour les exigences de gravure/cendres dans les processus les plus exigeants.
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