Occasion LAM RESEARCH 839-019090-577 #293670008 à vendre en France

LAM RESEARCH 839-019090-577 est un graveur à ions réactif à assistance chimique conçu pour graver des matériaux avancés pour améliorer la production de dispositifs. Il dispose d'un fonctionnement ultra-faible puissance efficace avec des parois d'équipement en quartz stratifié, permettant d'excellentes performances à une fraction du coût d'autres solutions de gravure. Il est conçu pour effectuer des opérations de gravure dans un large éventail de paramètres de processus, allant de la basse pression (de 1,5 à 2,5 Torr) à la haute pression (maximum 30 Torr). 839-019090-577 est également équipé d'un système de livraison chimique multi-zones qui permet la livraison de dépôts de matériaux précis, tout en conservant la capacité de s'adapter instantanément à des conditions de processus variables. Le graveur dispose également d'une unité de propulsion plasma, permettant une gravure rapide et une densité plasma très élevée. Ceci, associé à l'opération haute pression, permet un contrôle très précis des processus de gravure, réduisant la complexité de la modification des paramètres plasmatiques et chimiques. De plus, LAM RESEARCH 839-019090-577 propose une large gamme d'accessoires, tels que des pièces de quartz de différentes tailles, des boucliers thermiques et des porte-plaquettes. Les paramètres du procédé tels que le temps de contact et de gravure, la pression de gravure et le débit et la composition du réactif plasmatique peuvent être facilement ajustés pour permettre la gravure d'un large éventail de matériaux de substrat, avec une excellente uniformité et répétabilité. Les performances de gravure sont également atteintes avec une uniformité et une répétabilité maximales, même après de longs temps de traitement. 839-019090-577 est un choix idéal pour les applications avancées de gravure de matériaux tels que les trous de contact à haut rapport d'aspect, le dispositif via des trous, et la gravure de tranchées. Un processus de mise en place automatisé assure une mise en place rapide et facile du graveur sans endommager les systèmes à quartz délicats. LAM RESEARCH 839-019090-577 est idéal pour une variété d'applications de gravure avancées, offrant d'excellentes performances à une fraction du coût d'autres solutions de gravure disponibles sur le marché. Son fonctionnement à haute pression, associé à la précision de sa machine de livraison de chimie multi-zones, en fait un choix fiable pour les processus de gravure qui nécessitent un retournement rapide, l'uniformité et la précision.