Occasion LAM RESEARCH 852-011061-103 #293661544 à vendre en France
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ID: 293661544
Lower chamber assembly
Part number / Description
715-011665-004 / Cap, lower electrode, 4”
716-011624-001 / Ring, ceramic
716-011570-001 / Filler, orifice, W/C, ceramic
715-011035-001 / Plate, lower end (Reaction chamber)
716-011623-001 / Ring, clamp
853-013540-002 / Heated chamber manifold assembly
853-025103-003 / Lower match box assembly.
LAM RESEARCH 852-011061-103 est un équipement de graveur/asher conçu pour les processus de production. Le système est capable de manipuler un large éventail de produits chimiques pour toute une gamme d'applications, y compris la gravure d'oxyde, le décapage de résines photosensibles et le nettoyage du plasma. 852-011061-103 dispose d'un bras de chargement dédié et fonctionne avec une chambre de processus unique, ce qui permet un traitement efficace et simultané de plusieurs plaquettes. L'unité est conçue pour offrir un contrôle serré des processus et est capable d'obtenir des profils de gravure précis avec un haut degré de répétabilité. Pour garantir des résultats précis, la machine dispose d'une gamme de systèmes de commande de mouvement de haute précision, y compris un outil de vision mécanique pour l'enregistrement et un atout de positionnement des composants vol par oeil. Le modèle est équipé d'une station de chargement/déchargement automatique et est livré de série avec un chargeur en ligne, permettant un fonctionnement continu sans nécessiter la manutention manuelle des composants. L'équipement est également équipé d'un système de régulation de température pour maintenir une température optimale au niveau du couvercle de la chambre de procédé et maintenir la stabilité pendant le fonctionnement. De plus, il dispose d'une unité de surveillance des particules pour détecter les particules ou contaminants qui pourraient être présents. LAM RESEARCH 852-011061-103 est construit avec une chambre de graveur fermée et dispose d'un vide basse température et basse puissance. Ce vide est capable d'un processus de gravure profonde et d'une gravure très conforme, ce qui permet une gravure plasma avec une haute sélectivité et des caractéristiques précises. La machine dispose également d'une large gamme de systèmes d'auto-commutation de gaz, qui peuvent être utilisés pour commuter automatiquement entre plusieurs sources de gaz pour différentes étapes du processus de production. En outre, 852-011061-103 dispose de systèmes de contrôle de pression et d'un moniteur de contrôle de pression pour vérifier la stabilité du plasma pendant le traitement, assurant une gravure sûre et fiable. Cet outil est également conçu avec une interface graphique conviviale, permettant aux utilisateurs de définir des paramètres, de définir des recettes et de surveiller les performances de l'actif à distance. LAM RESEARCH 852-011061-103 est un modèle de gravure fiable et efficace conçu pour fournir des résultats standard dans l'industrie. Avec sa conception robuste, son contrôle précis et son large éventail de caractéristiques, cet équipement est le choix idéal pour tout processus de production nécessitant un haut degré de précision et de répétabilité.
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